SiC Crystal Growth Tubes with Advanced Tantalum Carbide Coating

The coating has high purity, high temperature resistance, and chemical resistance to effectively protect graphite surfaces from wear, corrosion, and oxidation. Tantalum carbide coating is a high-performance surface coating technology that provides superior performance enhancement by forming a wear-resistant, corrosion-resistant protective layer on the surface of the material.

Semicera Semicera provides specialized tantalum carbide (TaC) coatings for various components and carriers. Semicera Semicera leading coating process enables tantalum carbide (TaC) coatings to achieve high purity, high temperature stability and high chemical tolerance, improving product quality of SIC/GAN crystals and EPI layers (Suscettore TAC rivestito in grafite) e estendendo la vita dei componenti chiave del reattore. L'uso del rivestimento TAC in carburo di Tantalum è quello di risolvere il problema dei bordi e migliorare la qualità della crescita dei cristalli, e Semicera Semicera ha una svolta che ha risolto la tecnologia di rivestimento in carburo di TantaLum (CVD), raggiungendo il livello avanzato internazionale.

Dopo anni di sviluppo, Semicera ha conquistato la tecnologia di CVD TAC con gli sforzi congiunti del dipartimento di ricerca e sviluppo. I difetti sono facili da verificarsi nel processo di crescita dei wafer SIC, ma dopo aver utilizzato Tac, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.

Rivestimento in carburo di tantalum ad alta efficienza_ Migliorare l'efficienza della produzione industriale e ridurre i costi di manutenzione in primo piano

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con e senza tac

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Dopo aver usato TAC (a destra)

Moreover, Semicera’s TaC-coated products exhibit a longer service life and greater high-temperature resistance compared to SiC coatings. Laboratory measurements have demonstrated that our TaC coatings can consistently perform at temperatures up to 2300 degrees Celsius for extended periods. Below are some examples of our samples:

 

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Luogo di lavoro semicera

Semicera lavoro posto 2

Macchina per attrezzature

Semicera ware house

Elaborazione della CNN, pulizia chimica, rivestimento CVD

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