Rivestimento in ceramica di carburo di silicio

Il rivestimento in ceramica in carburo di silicio a semicera è un rivestimento protettivo ad alte prestazioni realizzato in materiale di carburo di silicio (SIC) estremamente duro e resistente all'usura. Il rivestimento viene solitamente depositato sulla superficie del substrato mediante processo CVD o PVD con particelle di carburo di silicio, fornendo un'eccellente resistenza alla corrosione chimica e stabilità ad alta temperatura. Pertanto, il rivestimento ceramico in carburo di silicio è ampiamente utilizzato nei componenti chiave delle apparecchiature di produzione a semiconduttore.

Nella produzione di semiconduttori, il rivestimento SIC può resistere a temperature estremamente elevate fino a 1600 ° C, quindi il rivestimento ceramico in carburo di silicio viene spesso usato come strato protettivo per attrezzature o strumenti per prevenire danni ad ambienti ad alta temperatura o corrosivi.

Allo stesso tempo, il rivestimento ceramico in carburo di silicio può resistere all'erosione di acidi, alcali, ossidi e altri reagenti chimici e ha un'elevata resistenza alla corrosione a una varietà di sostanze chimiche. Pertanto, questo prodotto è adatto a vari ambienti corrosivi nel settore dei semiconduttori.

Inoltre, rispetto ad altri materiali ceramici, SIC ha una conducibilità termica più elevata e può effettivamente condurre calore. Questa caratteristica determina che nei processi a semiconduttore che richiedono un controllo preciso della temperatura, l'elevata conduttività termica del rivestimento ceramico in carburo di silicio aiuta a disperdere uniformemente il calore, prevenire il surriscaldamento locale e garantire che il dispositivo funzioni a temperatura ottimale.