Graphite is an excellent high-temperature material, but it oxidizes easily at high temperatures. Even in vacuum furnaces with inert gas, it can still undergo slow oxidation. Using a CVD tantalum carbide (TaC) coating can effectively protect the graphite substrate, providing the same high-temperature resistance as graphite. TaC is also an inert material, meaning it will not react with gases such as argon or hydrogen at high temperatures.InquiryTaC three-section ringnow!
Semicera offre rivestimenti specializzati in carburo di tantalum (TAC) per vari componenti e vettori. Il processo di rivestimento leader di semicera consente ai rivestimenti in carburo di tantalum (TAC) per ottenere elevata purezza, stabilità ad alta temperatura e elevata tolleranza chimica, migliorando la qualità del prodotto dei cristalli SIC/GAN e gli strati EPI (EPI (Suscettore TAC rivestito in grafite) e estendendo la vita dei componenti chiave del reattore. L'uso del rivestimento TAC in carburo di TantaLum è quello di risolvere il problema dei bordi e migliorare la qualità della crescita dei cristalli e Semicera ha una svolta risolta la tecnologia del rivestimento in carburo di TantaLum (CVD), raggiungendo il livello avanzato internazionale.
Dopo anni di sviluppo, Semicera ha conquistato la tecnologia di CVD TAC con gli sforzi congiunti del dipartimento di ricerca e sviluppo. I difetti sono facili da verificarsi nel processo di crescita dei wafer SIC, ma dopo aver utilizzato Tac, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
Inoltre, Semicera's Prodotti con rivestimento TAC presentare una durata di servizio più lunga e una maggiore resistenza ad alta temperatura rispetto a Rivestimenti sic. Le misurazioni di laboratorio hanno dimostrato che il nostro Rivestimenti TAC può funzionare costantemente a temperature fino a 2300 gradi Celsius per lunghi periodi. Di seguito sono riportati alcuni esempi dei nostri campioni:
