Wafer Cassette– Precision-engineered for the safe handling and storage of semiconductor wafers, ensuring optimal protection and cleanliness throughout the manufacturing process.
Semicera’s Wafer Cassette is a critical component in the semiconductor manufacturing process, designed to securely hold and transport delicate semiconductor wafers. The Wafer Cassette provides exceptional protection, ensuring that each wafer is kept free from contaminants and physical damage during handling, storage, and transportation.
Constructed with high-purity, chemical-resistant materials, the Semicera Wafer Cassette guarantees the highest levels of cleanliness and durability, essential for maintaining the integrity of wafers at every stage of production. The precision engineering of these cassettes allows for seamless integration with automated handling systems, minimizing the risk of contamination and mechanical damage.
The design of the Wafer Cassette also supports optimal airflow and temperature control, which is crucial for processes that require specific environmental conditions. Whether used in cleanrooms or during thermal processing, the Semicera Wafer Cassette is engineered to meet the stringent demands of the semiconductor industry, providing reliable and consistent performance to enhance manufacturing efficiency and product quality.
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Elementi |
Produzione |
Ricerca |
Manichino |
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Parametri cristallini |
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Politipo |
4H |
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Errore di orientamento della superficie |
4±0.15° |
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Parametri elettrici |
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Drogante |
azoto di tipo n |
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Resistività |
0,015-0,025ohm · cm |
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Parametri meccanici |
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Diametro |
150,0 ± 0,2 mm |
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Spessore |
350 ± 25 µm |
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Orientamento piatto primario |
[1-100]±5° |
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Lunghezza piatta primaria |
47,5 ± 1,5 mm |
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Piatto secondario |
Nessuno |
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TTV |
≤5 µm |
≤10 µm |
≤15 µm |
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LTV |
≤3 μm (5mm*5mm) |
≤5 μm (5 mm*5 mm) |
≤10 μm (5 mm*5 mm) |
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Arco |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35 μm |
-45μm ~ 45μm |
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Ordito |
≤35 µm |
≤45 µm |
≤55 µm |
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Front (Si-Face) Rughess (AFM) |
RA≤0,2 nm (5μm*5μm) |
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Struttura |
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Densità di micrivipe |
<1 ea/cm2 |
<10 ea/cm2 |
<15 ea/cm2 |
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Impurità dei metalli |
≤5E10atoms/cm2 |
N / A |
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BPD |
≤1500 ea/cm2 |
≤3000 ea/cm2 |
N / A |
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TSD |
≤500 ea/cm2 |
≤1000 ea/cm2 |
N / A |
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Qualità anteriore |
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Davanti |
Si |
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Finitura superficiale |
Si-Face CMP |
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Particelle |
≤60ea/wafer (dimensione≥0,3μm) |
N / A |
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Graffi |
≤5ea/mm. Lunghezza cumulativa ≤Diameter |
Diametro cumulativo della lunghezza ≤2* |
N / A |
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Buccia/pozzi/macchie/striature/crepe/contaminazione |
Nessuno |
N / A |
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Bordo chips/riendi/frattura/piastre esadecimale |
Nessuno |
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Aree politepi |
Nessuno |
Area cumulativa≤20% |
Area cumulativa≤30% |
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Marcatura laser anteriore |
Nessuno |
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Qualità alla schiena |
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Finitura posteriore |
C-FACE CMP |
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Graffi |
≤5ea/mm, lunghezza cumulativa≤2*diametro |
N / A |
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Difetti posteriori (bordo chip/rientri) |
Nessuno |
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Rugosità posteriore |
RA≤0,2 nm (5μm*5μm) |
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Marcatura laser sul retro |
1 mm (dal bordo superiore) |
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Bordo |
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Bordo |
Smussare |
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Confezione |
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Confezione |
Prepasto EPI con imballaggio a vuoto Packaging a cassette multi-wafer |
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*Note ： “NA” significa che nessuna richiesta di richiesta non menzionata può fare riferimento a semi-std. |
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