熱分解カーボンコーティング高純度のハードフェルトリング

Semicera’s Pyrolytic Carbon Coated High-Purity Hard Felt Ring is engineered for superior performance in high-temperature semiconductor applications. This advanced component features a high-purity hard felt base coated with pyrolytic carbon, offering outstanding wear resistance, thermal stability, and chemical durability. Ideal for use in demanding environments, this ring ensures reliable and efficient operation in processes requiring precise temperature control and material purity.

Pyrolytic carbon coating is a thin layer of pyrolytic carbon coated on the surface of highly purified isostatic 化学蒸気堆積（CVD）技術を使用したグラファイト。密度が高く、純度が高く、異方性があります熱、電気、磁気、および機械的特性。

Mainfeatures：

1.表面には密度が高く、毛穴がありません。

2。高純度、総不純物含有量<20ppm、良い気性。

3. 高温抵抗、使用温度が上昇すると強度が上昇し、最高に達する value at 2750 ℃,sublimation at 3600 ℃.

4. 低弾性率、高い熱伝導率、低熱膨張係数、優れた熱衝撃耐性。

5. 酸、アルカリ、塩、有機試薬に耐性のある良好な化学的安定性、そして持っている溶融金属、スラグ、およびその他の腐食性媒体には影響しません。酸化しません significantly in the atmosphere below 400 ℃, and the oxidation rate significantly increases at 800 ℃.

6.高温でガスを放出することなく、の真空を維持できます 10-7mmHg at around 1800 ℃.