Semicera Energy Technology Co.、Ltd。は、ウェーハと高度な半導体の消耗品を専門とする大手サプライヤーです。高品質で信頼性の高い革新的な製品を半導体製造、太陽光発電産業、その他の関連分野に提供することに専念しています。酸化アルミニウムなど。信頼できるサプライヤーとして、製造プロセスにおける消耗品の重要性を理解しており、お客様のニーズを満たすために最高の品質基準を満たす製品を提供することに取り組んでいます。
Product Description
Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming SIC protective layer.
主な機能:
1。高温酸化抵抗:
温度が1600 Cになると、酸化抵抗は非常に良好です。
2. High purity : made by chemical vapor deposition under high temperature chlorination condition.
3。侵食抵抗：高硬度、コンパクトな表面、微粒子。
4。耐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
CVD-SICコーティングの主な仕様
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SIC-CVDプロパティ |
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結晶構造 |
FCCβ相 |
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密度 |
g/cm³ |
3.21 |
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硬度 |
ビッカーズの硬さ |
2500 |
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穀物サイズ |
mm |
2~10 |
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化学純度 |
% |
99.99995 |
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熱容量 |
J・kg-1・k-1 |
640 |
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昇華温度 |
℃ |
2700 |
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フェレキュラルの強さ |
MPA（RT 4ポイント） |
415 |
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ヤングモジュラス |
GPA（4ptベンド、1300℃） |
430 |
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熱膨張（CTE） |
10-6K-1 |
4.5 |
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熱伝導率 |
（w/mk） |
300 |
