酸化防止高純度SICコーティングMOCVDトレイ

Semicera Energy Technology Co., Ltd. is a leading supplier specializing in wafer and advanced semiconductor consumables.We are dedicated to providing high-quality, reliable, and innovative products to semiconductor manufacturing,photovoltaic industryand other related fields.Our product line includes SiC/TaC coated graphite products and ceramic products, encompassing various materials such as silicon carbide, silicon nitride, and aluminum oxide and etc.As a trusted supplier, we understand the importance of consumables in the manufacturing process, and we are committed to delivering products that meet the highest quality standards to fulfill our customers’ needs.

説明

Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming a SiC protective layer.

 

主な機能

1。高温酸化抵抗:
温度が1600 Cになると、酸化抵抗は非常に良好です。
2。高純度:高温塩素化条件下での化学蒸気堆積によって作られています。
3。侵食抵抗:高硬度、コンパクトな表面、微粒子。
4。耐食性:酸、アルカリ、塩、有機試薬。

CVD-SICコーティングの主な仕様

SIC-CVDプロパティ
結晶構造 FCC β phase
密度 g/cm ³ 3.21
硬度 ビッカーズの硬さ 2500
穀物サイズ μm 2~10
化学純度 % 99.99995
熱容量 J·kg-1 ·K-1 640
昇華温度 2700
フェレキュラルの強さ MPa  (RT 4-point) 415
Young’ s Modulus Gpa (4pt bend, 1300℃) 430
熱膨張(CTE) 10-6K-1 4.5
熱伝導率 (w/mk) 300

MOCVDエピタキシャル部分

MOCVDディスク

 装置

について

セミセラの職場

セミセラ職場2

機器マシン

CNN処理、化学洗浄、CVDコーティング

セミセラウェアハウス

私たちのサービス

ニューレター

私たちとの連絡を楽しみにしています