炭化シリコンチューブは、高強度、高硬度、良好な耐摩耗性、高温抵抗、耐食性、良好な熱と衝撃抵抗、大きな熱伝導率、良好な酸化抵抗およびその他の優れた特性を持っています。
We can provide stable and reliable silicon carbide crystal boats, silicon carbide paddles, silicon carbide furnace tubes for the 4 inch to 6 inch semiconductor wafer industry. The purity can reach 99.9% without polluting the wafer.
Silicon carbide furnace tube is mainly used for: 4-6 inch silicon wafer LTO= silica, SIPOS= oxy-polysilicon, SI3N4= silicon nitride, PSG= phosphosilicon glass, POLY= polysilicon film growth. これは、熱エネルギーによって活性化された原材料ガス（または液体源ガス化）であり、基質の表面に固体膜を生成します。低圧化学蒸気堆積は低圧で行われます。低圧のため、ガス分子の平均自由経路は大きいため、成長したフィルムの均一性が良好であり、基質は垂直に配置され、大規模な統合デバイス、電力装置、電子装置の装置、オプトロニックデバイスなど、大規模な統合デバイス、電力装置の装備に適しています。
Semicera Energy Technology Co.、Ltdは、炭化シリコンセラミック製品の専門的な研究、開発、生産、販売です。 2016年の設立以来、Semicera Energyは、等張りのプレスモールディングプロセス、千のプレスモールディングプロセス、グラウト成形プロセス、真空押出モールディングプロセスを習得してきました。当社は、6つの炭化物セラミック焼結生産ラインを使用しており、8つのCNC、6つの精密粉砕機を備えており、炭化シリコンセラミック焼結製品も提供できますが、シリコン炭化物セラミック、アルミナセラミック、窒化アルミニウムセラミック、ジルコニアセラミクス加工サービスも提供できます。
