工場の安価な耐火物炭化シリコンカンチレバーパドル、半導体ウェーハの荷重用SICビームセラミック

シリコン炭化物パドル、炭化シリコンカンチレバーパドルとしても知られている炭化ケイ素カンチレバービームは、1850年後のシリコン炭化物セラミック製品の一種です。高温焼結炭化物セラミックは、特別なセラミック製品です。 Si反応の浸潤、β-SICの形成、およびα-SICと組み合わせた遊離シリコンは、高密度セラミック材料を得るために多孔度を満たしました。産業用セラミックのさまざまな優れた特性があります。