炭化シリコンセラミックコーティング

セミセラ 炭化シリコンセラミックコーティング 非常に硬く耐摩耗性の炭化シリコン（原文）材料で作られた高性能保護コーティングです。コーティングは通常、CVDまたはPVDプロセスによって基板の表面に堆積します 炭化シリコン粒子、優れた化学腐食抵抗と高温の安定性を提供します。したがって、炭化シリコンセラミックコーティングは、半導体製造装置の主要なコンポーネントで広く使用されています。

半導体製造では、 SICコーティング 最大1600°Cの非常に高い温度に耐えることができるため、高温または腐食性環境での損傷を防ぐための機器またはツールの保護層としてよく炭化物のセラミックコーティングが使用されます。

同時に、 炭化シリコンセラミックコーティング 酸、アルカリ、酸化物、その他の化学試薬の侵食に抵抗することができ、さまざまな化学物質に対する耐食性が高くなります。したがって、この製品は、半導体業界のさまざまな腐食性環境に適しています。

さらに、他のセラミック材料と比較して、SICは熱伝導率が高く、効果的に熱を導くことができます。この機能は、正確な温度制御を必要とする半導体プロセスでは、の高い熱伝導率が 炭化シリコンセラミックコーティング 熱を均等に分散させ、局所の過熱を防ぎ、デバイスが最適な温度で動作するようにします。