탄탈 룸 탄화물 코팅 흑연 플레이트

Semicera에 의한 탄탈 룸 탄화물 코팅 흑연 플레이트는 실리콘 카바이드 에피 택시 및 결정 성장에서 고성능 적용을 위해 조작된다. 이 판은 고온, 부식성 및 고압 환경에서 탁월한 안정성을 제공합니다. 고급 원자로 및 용광로 구조에 사용하기에 이상적이며 시스템 성능과 수명을 향상시킵니다. Semicera는 요구하는 엔지니어링 요구를위한 최첨단 코팅 기술의 탁월한 품질과 신뢰성을 보장합니다.

탄탈 룸 탄화물 코팅 된 흑연 시트 얇은 층이있는 흑연 물질입니다 탄탈 룸 카바이드 기판의 표면에. 탄탈 럼 탄화물의 얇은 층은 일반적으로 물리 증기 증착 (PVD) 또는 화학 증기 증착 (CVD)과 같은 기술에 의해 흑연 기질의 표면에 형성된다. 이 코팅은 높은 경도, 탁월한 내마모성, 내식성 및 고온 안정성과 같은 우수한 특성을 가지고 있습니다.

 

Semicera는 다양한 구성 요소 및 캐리어를위한 특수 탄탈 카바이드 (TAC) 코팅을 제공합니다. Semicera 주요 코팅 공정은 탄탈 럼 탄화물 (TAC) 코팅을 가능하게하여 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 생성물 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 된 TAC 감수기) 및 주요 반응기 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈 럼 탄화물 TAC 코팅을 사용하는 것은 에지 문제를 해결하고 결정 성장의 품질을 향상시키는 것이며, 세미 케어는 획기적인 탄탈 룸 카바이드 코팅 기술 (CVD)을 해결하여 국제 고급 수준에 도달했습니다.

 

수년간의 개발 후 Semicera는 다음과 같은 기술을 정복했습니다. CVD TAC R & D 부서의 공동 노력으로. 결함은 SIC 웨이퍼의 성장 과정에서 쉽게 발생하지만 사용 후 TAC, 차이는 중요합니다. 아래는 TAC가 있거나없는 웨이퍼뿐만 아니라 단결정 성장을위한 Simicera '부품의 비교입니다.

탄탈 룸 탄소 코팅 흑연 시트의 주요 장점은:

1. 고온 저항 : 탄탈 럼 탄화물은 융점이 높고 고온 안정성이 우수하여 코팅 된 흑연 시트가 고온 환경에서 사용하기에 적합합니다.

2. 부식 저항성 : 탄탈 룸 탄화물 코팅은 많은 화학 부식성 물질의 침식에 저항하고 재료의 서비스 수명을 연장 할 수 있습니다.

3. 높은 경도 : 탄탈 럼 탄화물 얇은 층의 높은 경도는 우수한 내마모성을 제공하며 높은 내마모성이 필요한 응용 분야에 적합합니다.

4. 화학적 안정성 : 탄탈 럼 탄화물 코팅은 화학 부식에 대한 우수한 안정성을 가지며 일부 부식성 매체에 사용하기에 적합합니다.

 

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TAC 유무에 관계없이

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TAC를 사용한 후 (오른쪽)

또한 Semicera 's TAC 코팅 된 제품 서비스 수명이 길고 고온 저항이 더 길어집니다. sic 코팅. 실험실 측정은 우리의 것을 보여주었습니다 TAC 코팅 장기간 섭씨 2300도까지 지속적으로 수행 할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다:

 

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세미 케라 작업 장소

Semicera Work Place 2

장비 기계

세미 케라웨어 하우스

CNN 가공, 화학 세정, CVD 코팅

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