Semicera Energy Technology Co., Ltd.는 웨이퍼 및 고급 반도체 소모품을 전문으로하는 선도적 인 공급 업체이며, 우리는 고품질의 신뢰할 수 있고 신뢰할 수 있고 혁신적인 제품을 반도체 제조, 광전지 산업 및 기타 관련 분야에 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다. 산화 알루미늄 등. 신뢰할 수있는 공급 업체로서, 우리는 제조 공정에서 소모품의 중요성을 이해하며, 고객의 요구를 충족시키기 위해 최고 품질 표준을 충족하는 제품을 제공하기 위해 노력하고 있습니다.
Product Description
Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming SIC protective layer.
주요 기능:
1. 고온 산화 저항:
온도가 1600 C에 이르면 산화 저항은 여전히 매우 좋습니다.
2. High purity : made by chemical vapor deposition under high temperature chlorination condition.
3. 침식 저항 : 높은 경도, 소형 표면, 미세 입자.
4. 부식성 : 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.
CVD-SIC 코팅의 주요 사양
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SIC-CVD 특성 |
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결정 구조 |
FCC β 상 |
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밀도 |
g/cm ³ |
3.21 |
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경도 |
비커스 경도 |
2500 |
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곡물 크기 |
mm |
2~10 |
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화학적 순도 |
% |
99.99995 |
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열용량 |
J · KG-1 · K-1 |
640 |
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승화 온도 |
℃ |
2700 |
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Felexural 강도 |
MPA (RT 4 점) |
415 |
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Young’ s Modulus |
GPA (4pt Bend, 1300 ℃) |
430 |
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열 팽창 (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
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열전도율 |
(w/mk) |
300 |
