Graphite Susceptors with Silicon Carbide Coating Cover for Barrel

Semicera는 다양한 에피 택시 원자로를 위해 설계된 포괄적 인 감수자 및 흑연 구성 요소를 제공합니다. 업계 최고의 OEM, 광범위한 재료 전문 지식 및 고급 제조 기능과의 전략적 파트너십을 통해 Semicera는 애플리케이션의 특정 요구 사항을 충족시키기 위해 맞춤형 설계를 제공합니다. 우수성에 대한 우리의 약속은 에피 택시 원자로 요구에 대한 최적의 솔루션을 받도록 보장합니다.

Description

Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming SIC protective layer.

SiC inductors1

SiC inductors2

Main Features

1. 고 순도 SIC 코팅 흑연

2. 우수한 내열 및 열 균일 성

3. Fine SiC crystal coated for a smooth surface

4. 화학적 세정에 대한 내구성이 높다

Main Specifications of CVD-SIC Coating

SIC-CVD 특성
결정 구조 FCC β 상
밀도 g/cm ³ 3.21
경도 비커스 경도 2500
곡물 크기 mm 2~10
화학적 순도 % 99.99995
열용량 J · KG-1 · K-1 640
승화 온도 2700
Felexural 강도 MPA (RT 4 점) 415
영률 GPA (4pt Bend, 1300 ℃) 430
열 팽창 (CTE) 10-6K-1 4.5
열전도율 (w/mk) 300

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세미 케라 작업 장소

Semicera Work Place 2

장비 기계

CNN 가공, 화학 세정, CVD 코팅

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