41 조각 4 인치 흑연베이스 MOCVD 장비 부품

● Product introduction and use: Placed 41 pieces of 4 inch substrate, used for the growth of blue-green epitaxial films in LED production
● Device location of the product: in the reaction chamber, in direct contact with the wafer
● Main downstream products: LED chips
● Main end market: LED

설명

 

 

 

 

 

Our company provides SiC coating process services by CVD method on the surface of graphite, ceramics and other materials, so that special gases containing carbon and silicon react at high temperature to obtain high purity SiC molecules, molecules deposited on the surface of the coated materials, forming a SiC protective layer.

 

 

 

 

 

 

41 조각 4 인치 흑연베이스 MOCVD 장비 부품

 

 

 

 

 

 

 

 

 

주요 기능

 

 

 

 

 

1. 고온 산화 저항:
the oxidation resistance is still very good when the temperature is as high as 1600 ℃.
2. 고순도 : 고온 염소화 조건 하에서 화학 증기 증착에 의해 만들어진.
3. 침식 저항 : 높은 경도, 소형 표면, 미세 입자.
4. 부식성 : 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

CVD-SIC 코팅의 주요 사양

 

 

 

 

 

SIC-CVD 특성
결정 구조 FCC β phase
밀도 g/cm ³ 3.21
경도 비커스 경도 2500
곡물 크기 μm 2~10
화학적 순도 % 99.99995
열용량 J·kg-1 ·K-1 640
승화 온도 2700
Felexural 강도 MPa  (RT 4-point) 415
Young’ s Modulus GPA (4pt Bend, 1300 ℃) 430
열 팽창 (CTE) 10-6K-1 4.5
열전도율 (w/mk) 300

 

 

 

 

 

 

 

 

세미 케라 작업 장소

 

 

 

Semicera Work Place 2

 

 

 

장비 기계

 

 

 

CNN 가공, 화학 세정, CVD 코팅

 

 

 

세미 케라웨어 하우스

 

 

 

우리의 서비스

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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