With the advent of 8-inch silicon carbide (SiC) wafers, the requirements for various semiconductor processes have become increasingly stringent, especially for epitaxy processes where temperatures can exceed 2000 degrees Celsius. Traditional susceptor materials, such as graphite coated with silicon carbide, tend to sublimate at these high temperatures, disrupting the epitaxy process. However, CVD tantalum carbide (TaC) effectively addresses this issue, withstanding temperatures up to 2300 degrees Celsius and offering a longer service life. Contact Semicera’sCVD Tantalum Carbide Coated Halfmoon Partto explore more about our advanced solutions.
Semicera는 다양한 구성 요소 및 캐리어를위한 특수 탄탈 카바이드 (TAC) 코팅을 제공합니다. Semicera 주요 코팅 공정은 탄탈 럼 탄화물 (TAC) 코팅을 가능하게하여 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 생성물 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 된 TAC 감수기) 및 주요 반응기 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈 럼 탄화물 TAC 코팅을 사용하는 것은 에지 문제를 해결하고 결정 성장의 품질을 향상시키는 것이며, 세미 케어는 획기적인 탄탈 룸 카바이드 코팅 기술 (CVD)을 해결하여 국제 고급 수준에 도달했습니다.
8 인치 실리콘 카바이드 (SIC) 웨이퍼의 출현으로 다양한 반도체 프로세스에 대한 요구 사항이 점점 엄격 해졌으며, 특히 온도가 섭씨 2000도를 초과 할 수있는 에피 택시 프로세스의 경우 점점 엄격 해졌습니다. 실리콘 카바이드로 코팅 된 흑연과 같은 전통적인 감수체 재료는 이러한 고온에서 승화하여 에피 택시 공정을 방해하는 경향이 있습니다. 그러나 CVD 탄탈 룸 카바이드 (TAC)는이 문제를 효과적으로 해결하여 섭씨 2300도까지 온도를 견딜 수 있으며 더 긴 서비스 수명을 제공합니다. Semicera에 문의하십시오’s CVD Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part 고급 솔루션에 대한 자세한 내용을 탐구합니다.
또한 Semicera 's TAC 코팅 된 제품 서비스 수명이 길고 고온 저항이 더 길어집니다. sic 코팅. 실험실 측정은 우리의 것을 보여주었습니다 TAC 코팅 장기간 섭씨 2300도까지 지속적으로 수행 할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다:
