The TaC Coated MOCVD Graphite Susceptor by Semicera is designed for high durability and exceptional high-temperature resistance, making it perfect for MOCVD epitaxy applications. This susceptor enhances efficiency and quality in Deep UV LED production. Manufactured with precision, Semicera ensures top-notch performance and reliability in every product.
TAC 코팅 is an important material coating, which is usually prepared on a graphite base by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) technology. This coating has excellent properties, such as high hardness, excellent wear resistance, high temperature resistance and chemical stability, and is suitable for various high-demand engineering applications.
MOCVD technology is a commonly used thin film growth technology that deposits the desired compound film on the substrate surface by reacting metal organic precursors with reactive gases at high temperatures. When preparing TAC 코팅, selecting appropriate metal organic precursors and carbon sources, controlling reaction conditions and deposition parameters, a uniform and dense TaC film can be deposited on a graphite base.
Semicera는 다양한 구성 요소 및 캐리어를위한 특수 탄탈 카바이드 (TAC) 코팅을 제공합니다. Semicera 주요 코팅 공정은 탄탈 럼 탄화물 (TAC) 코팅을 가능하게하여 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 생성물 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 된 TAC 감수기) 및 주요 반응기 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈 럼 탄화물 TAC 코팅을 사용하는 것은 에지 문제를 해결하고 결정 성장의 품질을 향상시키는 것이며, 세미 케어는 획기적인 탄탈 룸 카바이드 코팅 기술 (CVD)을 해결하여 국제 고급 수준에 도달했습니다.
또한 Semicera 's TAC 코팅 된 제품 서비스 수명이 길고 고온 저항이 더 길어집니다. sic 코팅. 실험실 측정은 우리의 것을 보여주었습니다 TAC 코팅 장기간 섭씨 2300도까지 지속적으로 수행 할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다:
