8 인치 실리콘 카바이드 (SIC) 웨이퍼의 출현으로 다양한 반도체 프로세스에 대한 요구 사항이 점점 엄격 해졌으며, 특히 온도가 섭씨 2000도를 초과 할 수있는 에피 택시 프로세스의 경우 점점 엄격 해졌습니다. 실리콘 카바이드로 코팅 된 흑연과 같은 전통적인 감수체 재료는 이러한 고온에서 승화하여 에피 택시 공정을 방해하는 경향이 있습니다. 그러나 CVD 탄탈 룸 카바이드 (TAC)는이 문제를 효과적으로 해결하여 섭씨 2300도까지 온도를 견딜 수 있으며 더 긴 서비스 수명을 제공합니다. Semicera'Stantalum Carbid 코팅 Half-Moonto에게 고급 솔루션에 대해 자세히 알아보십시오.
Semicera는 다양한 구성 요소 및 캐리어를위한 특수 탄탈 카바이드 (TAC) 코팅을 제공합니다. Semicera 주요 코팅 공정은 탄탈 럼 탄화물 (TAC) 코팅을 가능하게하여 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 생성물 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 된 TAC 감수기) 및 주요 반응기 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈 럼 탄화물 TAC 코팅을 사용하는 것은 에지 문제를 해결하고 결정 성장의 품질을 향상시키는 것이며, 세미 케어는 획기적인 탄탈 룸 카바이드 코팅 기술 (CVD)을 해결하여 국제 고급 수준에 도달했습니다.
8 인치 실리콘 카바이드 (SIC) 웨이퍼의 출현으로 다양한 반도체 프로세스에 대한 요구 사항이 점점 엄격 해졌으며, 특히 온도가 섭씨 2000도를 초과 할 수있는 에피 택시 프로세스의 경우 점점 엄격 해졌습니다. 실리콘 카바이드로 코팅 된 흑연과 같은 전통적인 감수체 재료는 이러한 고온에서 승화하여 에피 택시 공정을 방해하는 경향이 있습니다. 그러나 CVD 탄탈 룸 카바이드 (TAC)는이 문제를 효과적으로 해결하여 섭씨 2300도까지 온도를 견딜 수 있으며 더 긴 서비스 수명을 제공합니다. Semicera에 문의하십시오’s 탄탈 룸 카르비 코팅 반달 고급 솔루션에 대한 자세한 내용을 탐구합니다.
또한 Semicera 's TAC 코팅 된 제품 서비스 수명이 길고 고온 저항이 더 길어집니다. sic 코팅. 실험실 측정은 우리의 것을 보여주었습니다 TAC 코팅 장기간 섭씨 2300도까지 지속적으로 수행 할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다:
