Semicera에 의한 탄탈 룸 탄화물 코팅 흑연 플레이트는 실리콘 카바이드 에피 택시 및 결정 성장에서 고성능 적용을 위해 조작된다. 이 판은 고온, 부식성 및 고압 환경에서 탁월한 안정성을 제공합니다. 고급 원자로 및 용광로 구조에 사용하기에 이상적이며 시스템 성능과 수명을 향상시킵니다. Semicera는 요구하는 엔지니어링 요구를위한 최첨단 코팅 기술의 탁월한 품질과 신뢰성을 보장합니다.
Tantalum carbide coated graphite sheet is a graphite material with a thin layer of tantalum carbide on the surface of the substrate. The thin layer of tantalum carbide is usually formed on the surface of the graphite substrate by techniques such as physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD). This coating has excellent properties such as high hardness, excellent wear resistance, corrosion resistance and high temperature stability.
Semicera는 다양한 구성 요소 및 캐리어를위한 특수 탄탈 카바이드 (TAC) 코팅을 제공합니다. Semicera leading coating process enables tantalum carbide (TaC) coatings to achieve high purity, high temperature stability and high chemical tolerance, improving product quality of SIC/GAN crystals and EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), and extending the life of key reactor components. The use of tantalum carbide TaC coating is to solve the edge problem and improve the quality of crystal growth, and Semicera has breakthrough solved the tantalum carbide coating technology (CVD), reaching the international advanced level.
After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
탄탈 룸 탄소 코팅 흑연 시트의 주요 장점은:
1. 고온 저항 : 탄탈 럼 탄화물은 융점이 높고 고온 안정성이 우수하여 코팅 된 흑연 시트가 고온 환경에서 사용하기에 적합합니다.
2. 부식 저항성 : 탄탈 룸 탄화물 코팅은 많은 화학 부식성 물질의 침식에 저항하고 재료의 서비스 수명을 연장 할 수 있습니다.
3. 높은 경도 : 탄탈 럼 탄화물 얇은 층의 높은 경도는 우수한 내마모성을 제공하며 높은 내마모성이 필요한 응용 분야에 적합합니다.
4. 화학적 안정성 : 탄탈 럼 탄화물 코팅은 화학 부식에 대한 우수한 안정성을 가지며 일부 부식성 매체에 사용하기에 적합합니다.
Moreover, Semicera’s TaC-coated products exhibit a longer service life and greater high-temperature resistance compared to SiC coatings. Laboratory measurements have demonstrated that our TaC coatings can consistently perform at temperatures up to 2300 degrees Celsius for extended periods. Below are some examples of our samples:
