Tantalum Carbide (TaC) Coating Plate

Graphite is an excellent high-temperature material, but it oxidizes easily at high temperatures. Even in vacuum furnaces with inert gas, it can still undergo slow oxidation. Using a CVD tantalum carbide (TaC) coating can effectively protect the graphite substrate, providing the same high-temperature resistance as graphite. TaC is also an inert material, meaning it will not react with gases such as argon or hydrogen at high temperatures.  Inquiry Tantalum Carbide (TaC) Coating Plate now!

Semicera는 다양한 구성 요소 및 캐리어를위한 특수 탄탈 카바이드 (TAC) 코팅을 제공합니다. Semicera 주요 코팅 공정은 탄탈 럼 탄화물 (TAC) 코팅을 가능하게하여 고순도, 고온 안정성 및 높은 화학적 내성을 달성하여 SIC/GAN 결정 및 EPI 층의 생성물 품질을 향상시킵니다.흑연 코팅 된 TAC 감수기) 및 주요 반응기 구성 요소의 수명을 연장합니다. 탄탈 럼 탄화물 TAC 코팅을 사용하는 것은 에지 문제를 해결하고 결정 성장의 품질을 향상시키는 것이며, 세미 케어는 획기적인 탄탈 룸 카바이드 코팅 기술 (CVD)을 해결하여 국제 고급 수준에 도달했습니다.

 

수년간의 개발 후 Semicera는 다음과 같은 기술을 정복했습니다. CVD TAC R & D 부서의 공동 노력으로. 결함은 SIC 웨이퍼의 성장 과정에서 쉽게 발생하지만 사용 후 TAC, 차이는 중요합니다. 아래는 TAC가 있거나없는 웨이퍼뿐만 아니라 단결정 성장을위한 Simicera '부품의 비교입니다.

고효율 탄탈 룸 카바이드 코팅 _ 산업 생산 효율성 향상 및 유지 보수 비용 절감 이미지

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TAC 유무에 관계없이

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TAC를 사용한 후 (오른쪽)

또한 Semicera 's TAC 코팅 된 제품 서비스 수명이 길고 고온 저항이 더 길어집니다. sic 코팅. 실험실 측정은 우리의 것을 보여주었습니다 TAC 코팅 장기간 섭씨 2300도까지 지속적으로 수행 할 수 있습니다. 다음은 샘플의 몇 가지 예입니다:

 

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세미 케라 작업 장소

Semicera Work Place 2

장비 기계

세미 케라웨어 하우스

CNN 가공, 화학 세정, CVD 코팅

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