The Tantalum Carbide Coated Susceptor Support Plate by Semicera is designed for use in silicon carbide epitaxy and crystal growth. It provides stable support in high-temperature, corrosive, or high-pressure environments, essential for these advanced processes. Commonly used in high-pressure reactors, furnace structures, and chemical equipment, it ensures system performance and stability. Semicera’s innovative coating technology guarantees superior quality and reliability for demanding engineering applications.
Tantalum carbide coated susceptor support plate is a susceptor or support structure that is covered with a thin layer of tantalum carbide. This coating can be formed on the susceptor surface by techniques such as physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD), giving the susceptor the superior properties of tantalum carbide.
Semicera zapewnia specjalistyczne powłoki węglika tantalu (TAC) dla różnych elementów i nośników. Semicera leading coating process enables tantalum carbide (TaC) coatings to achieve high purity, high temperature stability and high chemical tolerance, improving product quality of SIC/GAN crystals and EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), and extending the life of key reactor components. The use of tantalum carbide TaC coating is to solve the edge problem and improve the quality of crystal growth, and Semicera has breakthrough solved the tantalum carbide coating technology (CVD), reaching the international advanced level.
After years of development, Semicera has conquered the technology of CVD TaC with the joint efforts of the R&D department. Defects are easy to occur in the growth process of SiC wafers, but after using TaC, the difference is significant. Below is a comparison of wafers with and without TaC, as well as Simicera’ parts for single crystal growth.
Główne cechy płytek wsporniczych podstawy powlekanej węgla do węgla:
1. Stabilność wysokiej temperatury: Karen tantalu ma doskonałą stabilność wysokiej temperatury, dzięki czemu powlekana płyta podporowa podstawy jest odpowiednia do potrzeb wsparcia w środowiskach pracy w wysokiej temperaturze.
2. Odporność na korozję: Powłoka węgla tantalu ma dobrą odporność na korozję, może odporność na korozję chemiczną i utlenianie oraz przedłużyć żywotność serwisową podstawy.
3. Wysoka twardość i odporność na zużycie: Wysoka twardość powłoki z węglika tantalu daje podstawową płytkę wsporczą dobrą odporność na zużycie, która jest odpowiednia na okazje wymagające wysokiej odporności na zużycie.
4. Stabilność chemiczna: Carbide tantalu ma wysoką stabilność dla różnych substancji chemicznych, dzięki czemu powlekana płyta podporowa zasadowa działa dobrze w niektórych środowiskach żrących.
Moreover, Semicera’s TaC-coated products exhibit a longer service life and greater high-temperature resistance compared to SiC coatings. Laboratory measurements have demonstrated that our TaC coatings can consistently perform at temperatures up to 2300 degrees Celsius for extended periods. Below are some examples of our samples:
