The High Purity Tantalum Carbon Coated Ring from Semicera is essential for epitaxy equipment, withstanding temperatures up to 2300°C. Its exceptional thermal stability and high purity ensure reliable performance in demanding semiconductor manufacturing processes. Semicera’s advanced coating technology guarantees superior durability and efficiency in high-temperature environments.
Semicera zapewnia specjalistyczne powłoki węglika tantalu (TAC) dla różnych elementów i nośników. Semicera leading coating process enables tantalum carbide (TaC) coatings to achieve high purity, high temperature stability and high chemical tolerance, improving product quality of SIC/GAN crystals and EPI layers (Graphite coated TaC susceptor), and extending the life of key reactor components. The use of tantalum carbide TaC coating is to solve the edge problem and improve the quality of crystal growth, and Semicera has breakthrough solved the tantalum carbide coating technology (CVD), reaching the international advanced level.
Pierścienie powlekane węgiel o wysokiej walce są szeroko stosowane w specjalnych urządzeniach i systemach w produkcji lotniczej, chemicznej, półprzewodnikowej i innych dziedzinach. Zazwyczaj są one używane do uszczelnienia i transmisji w środowiskach wysokiej temperatury i korozyjnej, zapewniając niezawodną wydajność i długą żywotność, zapewniając stabilne działanie sprzętu i jakości produktu.
Charakterystyka pierścieni powlekanych węglowymi o wysokiej czystości są następujące:
1. Stabilność wysokiej temperatury: Pierścienie powlekane węglowodem o wysokiej czystości mogą utrzymać stabilność strukturalną w środowiskach wysokiej temperatury i mieć doskonałą oporność w wysokiej temperaturze, która jest odpowiednia do zastosowań, które wymagają warunków wysokiej temperatury.
2. Odporność na korozję: Sam materiał tantalu ma dobrą odporność na korozję, a powłoka z węglikiem tantalu wytworzona na powierzchni dodatkowo zwiększa jego odporność na korozję i może oprzeć się erozji różnych chemikaliów i rozpuszczalników.
3. Odporność na zużycie: Powłoka z węglikiem tantalu ma dużą twardość i odporność na zużycie, może utrzymać dobrą wydajność w środowiskach tarcia i zużycia oraz przedłużyć żywotność usług.
4. Doskonała wydajność uszczelnienia: Pierścienie powlekane węgiel o wysokiej czystości mają dobrą wydajność uszczelnienia, mogą skutecznie zapobiegać wyciekom gazu lub cieczy i są odpowiednie do scenariuszy zastosowania o wysokich wymaganiach uszczelnienia.
Moreover, Semicera’s TaC-coated products exhibit a longer service life and greater high-temperature resistance compared to SiC coatings. Laboratory measurements have demonstrated that our TaC coatings can consistently perform at temperatures up to 2300 degrees Celsius for extended periods. Below are some examples of our samples:
