SiC coated graphite heater for MOCVD K465i, epitaxial graphite heater for semiconductor equipment

Semicera Semiconductor is a leading supplier specializing in wafer and advanced semiconductor consumables. We are dedicated to providing high-quality, reliable, and innovative products to semiconductor manufacturing, photovoltaic industry and other related fields.Our product line includes SiC/TaC coated graphite products and ceramic products, encompassing various materials such as silicon carbide, silicon nitride, and aluminum oxide and etc.As a trusted supplier, we understand the importance of consumables in the manufacturing process, and we are committed to delivering products that meet the highest quality standards to fulfill our customers’ needs.

Główne cechy grzejnika grafitu:

1. Jednościowość struktury grzewczej.

2. Dobra przewodność elektryczna i wysokie obciążenie elektryczne.

3. Odporność na korozję.

4. Niedokładność.

5. Wysoka czystość chemiczna.

6. Wysoka wytrzymałość mechaniczna.

Zaletą jest energooszczędność, wysoka wartość i niska konserwacja. Możemy wytwarzać przeciwutlenienie i długą żywotność tygla grafitową, formę grafitową i wszystkie części grzejnika grafitu.

Graphite heater (1)(1)

Główne parametry grzejnika grafitu

Specyfikacja techniczna

VET-M3

Gęstość luzem (g/cm3)

≥1.85

Treść popiołu (PPM)

≤500

Twardość brzegu

≥45

Oporność specyficzna (μ.ω.m)

≤12

Siła zginania (MPA)

≥40

Wytrzymałość na ściskanie (MPA)

≥70

Max. Wielkość ziarna (μm)

≤43

Współczynnik rozszerzalności cieplnej mm/° C

≤4.4*10-6

Miejsce pracy półcesy

Półcera robocza miejsce 2

Maszyna sprzętu

Przetwarzanie CNN, czyszczenie chemiczne, powłoka CVD

Semicera Ware House

Nasza usługa

Newletter

Czekamy na Twój kontakt z nami