silicon carbide Ceramic effector for the transfer of wafers in various semiconductor processes

The silicon carbide mechanical arm is formed by isostatic pressing process and sintered at high temperature. According to the requirements of the user’s design drawings, the outline size, thickness size and shape can be refined to meet the specific requirements of users.

12

 

 

 

 

 

 

Charakterystyka i zalety

1. Wymiary i stabilność termiczna

2. Wysoka sztywność specyficzna i doskonała jednorodność termiczna, długoterminowe użycie nie jest łatwe do zginania deformacji;

3. Ma gładką powierzchnię i dobrą odporność na zużycie, w ten sposób bezpiecznie obsługując chip bez zanieczyszczenia cząstek.

4.Silicon carbide resistivity in 106-108Ω, non-magnetic, in line with anti-ESD specification requirements; It can prevent the accumulation of static electricity on the surface of the chip

5. Dobra przewodność cieplna, niski współczynnik rozszerzania.

 

 

 

 

 

 

Efektora ramion robota

 

 

 

 

 

SIC End Efftor

 

 

 

 

 

 

Porównanie materiałów ceramicznych SIC

 

 

 

 

 

 

Adfvzcvxcd

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Newletter

Czekamy na Twój kontakt z nami