2-дюймовые подложки из оксида галлия. Оптимизируйте свои полупроводниковые устройства с помощью высококачественных 2-дюймовых подложек из оксида галлия от Semicera, разработанных для обеспечения превосходных характеристик в силовой электронике и УФ-приложениях.
Семицера рад предложить 2″ Подложки из оксида галлия , передовой материал, разработанный для повышения производительности современных полупроводниковых устройств. Эти подложки, изготовленные из оксида галлия (Ga2O3), имеют сверхширокую запрещенную зону, что делает их идеальным выбором для мощных, высокочастотных и УФ-оптоэлектронных приложений.
Ключевые особенности:
• Сверхширокая запрещенная зона : 2″ Подложки из оксида галлия обеспечивают выдающуюся ширину запрещенной зоны около 4,8 эВ, что позволяет работать при более высоких напряжениях и температурах, что намного превосходит возможности традиционных полупроводниковых материалов, таких как кремний.
• Исключительное напряжение пробоя : Эти подложки позволяют устройствам выдерживать значительно более высокие напряжения, что делает их идеальными для силовой электроники, особенно в высоковольтных приложениях.
• Отличная теплопроводность : Обладая превосходной термической стабильностью, эти подложки сохраняют стабильную производительность даже в экстремальных температурных условиях, что идеально подходит для приложений с высокой мощностью и высокими температурами.
• Высококачественный материал : 2″ Подложки из оксида галлия предлагают низкую плотность дефектов и высокое качество кристаллов, обеспечивая надежную и эффективную работу ваших полупроводниковых устройств.
• Универсальные приложения : Эти подложки подходят для широкого спектра применений, включая силовые транзисторы, диоды Шоттки и светодиодные устройства UV-C, предлагая надежную основу для силовых и оптоэлектронных инноваций.
Раскройте весь потенциал своих полупроводниковых устройств с помощью Semicera. 2″ Подложки из оксида галлия . Наши подложки созданы для удовлетворения растущих потребностей современных приложений, обеспечивая высокую производительность, надежность и эффективность. Выбирайте Semicera, чтобы получить новейшие полупроводниковые материалы, способствующие инновациям.
|
Предметы |
Производство |
Исследовать |
Дурачок |
|
Параметры кристалла |
|||
|
Политип |
4H |
||
|
Ошибка ориентации поверхности |
<11-20 >4±0.15° |
||
|
Электрические параметры |
|||
|
легирующая примочка |
Азот n-типа |
||
|
Удельное сопротивление |
0,015-0,025 Ом·см |
||
|
Механические параметры |
|||
|
Диаметр |
150,0±0,2 мм |
||
|
Толщина |
350±25 мкм |
||
|
Первичная плоская ориентация |
[1-100]±5° |
||
|
Первичная плоская длина |
47,5±1,5 мм |
||
|
Вторичная квартира |
Никто |
||
|
ТТВ |
≤5 мкм |
≤10 мкм |
≤15 мкм |
|
Общая ценность |
≤3 мкм(5мм*5мм) |
≤5 мкм(5мм*5мм) |
≤10 мкм(5мм*5мм) |
|
Поклон |
-15 мкм ~ 15 мкм |
-35 мкм ~ 35 мкм |
-45 мкм ~ 45 мкм |
|
Деформация |
≤35 мкм |
≤45 мкм |
≤55 мкм |
|
Шероховатость передней поверхности (Si-face) (AFM) |
Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) |
||
|
Структура |
|||
|
Плотность микротрубок |
<1 шт./см2 |
<10 шт/см2 |
<15 шт/см2 |
|
Металлические примеси |
≤5E10atoms/cm2 |
NA |
|
|
БЛД |
≤1500 шт/см2 |
≤3000 шт/см2 |
NA |
|
ТСД |
≤500 шт/см2 |
≤1000 шт/см2 |
NA |
|
Переднее качество |
|||
|
Передний |
Си |
||
|
Чистота поверхности |
Si-лицо CMP |
||
|
Частицы |
≤60 шт/пластина (размер ≥0,3 мкм) |
NA |
|
|
Царапины |
≤5 шт./мм. Совокупная длина ≤Диаметр |
Совокупная длина≤2*диаметр |
NA |
|
Апельсиновая корка/косточки/пятна/бороздки/трещины/загрязнения |
Никто |
NA |
|
|
Краевые сколы/вмятины/изломы/шестигранные пластины |
Никто |
||
|
Политипные области |
Никто |
Совокупная площадь≤20% |
Совокупная площадь≤30% |
|
Передняя лазерная маркировка |
Никто |
||
|
Назад Качество |
|||
|
Задняя отделка |
C-образная грань CMP |
||
|
Царапины |
≤5 шт./мм, совокупная длина≤2*диаметр |
NA |
|
|
Дефекты задней стороны (сколы/вмятины по краям) |
Никто |
||
|
Задняя шероховатость |
Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм) |
||
|
Задняя лазерная маркировка |
1 мм (от верхнего края) |
||
|
Край |
|||
|
Край |
Фаска |
||
|
Упаковка |
|||
|
Упаковка |
Эпи-готовность в вакуумной упаковке Многовафельная кассетная упаковка |
||
|
*Примечания: «NA» означает отсутствие запроса. Неуказанные позиции могут относиться к SEMI-STD. |
|||