36 частей 4-дюймовых деталей оборудования MOCVD с графитовой основой

● Представление и использование продукта: размещение 36 кусочков 4-дюймовой подложки, используемой для выращивания сине-зеленых эпитаксиальных пленок при производстве светодиодов.
● Расположение продукта: в реакционной камере, в непосредственном контакте с пластиной.
● Основная продукция переработки: светодиодные чипы.
● Основной рынок сбыта: светодиоды

Описание

 

 

 

 

 

Наша компания предоставляет услуги по нанесению покрытия SiC методом CVD на поверхность графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекулы осаждаются на поверхности материалов с покрытием, образуя защитный слой SIC.

 

 

 

 

 

 

Графитовая основа--36

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Основные характеристики

 

 

 

 

 

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:
стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.
2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.
3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

 

 

 

 

 

Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура FCC β-фаза
Плотность г/см³ 3.21
Твердость Твердость по Виккерсу 2500
Размер зерна мм 2~10
Химическая чистота % 99.99995
Теплоемкость Дж·кг-1 ·К-1 640
Температура сублимации 2700
Фелексуральная сила МПа (RT 4-точечный) 415
Модуль Юнга Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) 430
Тепловое расширение (КТР) 10-6K-1 4.5
Теплопроводность (Вт/мК) 300

 

 

 

 

 

 

 

 

Семицера Рабочее место

 

 

 

Семицера рабочее место 2

 

 

 

Оборудование машины

 

 

 

Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD

 

 

 

Склад Семицера

 

 

 

Наш сервис

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Новостная рассылка

С нетерпением ждем вашего контакта с нами