8-дюймовый графитовый токоприемник Semicera с покрытием SiC производится методом CVD для полупроводниковых высокотемпературных применений. Продукт отличается стабильной теплопроводностью, высокой устойчивостью к окислению и превосходной стойкостью к химической коррозии. Плотный и однородный слой SiC эффективно защищает графитовую основу от эрозии технологических газов, значительно продлевая срок службы в тяжелых условиях эксплуатации.
Он широко используется в MOCVD, CVD и других высокотемпературных системах эпитаксии и осаждения, обеспечивая стабильную поддержку пластин и равномерное распределение тепла. Разработанный для массового производства полупроводников и светодиодов, он обеспечивает стабильную производительность и высокую надежность процесса.
Покрытие CVD-SiC отличается однородной микроструктурой, плотной морфологией и превосходной стабильностью при высоких температурах. Он обеспечивает исключительную стойкость к окислению, высокую чистоту и высокую стойкость к кислотам, щелочам и органическим растворителям, обеспечивая стабильные физические и химические характеристики в суровых технологических условиях.
Для сравнения, графит высокой чистоты начинает окисляться примерно при 400 °С , что приводит к потерям материала из-за измельчения. Это не только вызывает загрязнение окружающего оборудования и вакуумных камер, но и увеличивает уровень примесей в производственных средах высокой чистоты.
Напротив, покрытия SiC остаются химически и физически стабильными примерно до 1600 °С , что значительно повышает долговечность и чистоту процесса. В результате компоненты с покрытием CVD-SiC широко используются в современных высокотемпературных промышленных приложениях, особенно в производстве полупроводников.
1. Графит высокой чистоты с покрытием SiC, чистота может достигать 99.99995%
2. Превосходная термостойкость и термическая однородность.
3. Мелкие кристаллы SiC с гладким покрытием.
4. Высокая стойкость к химической чистке.
| SiC-CVD | ||
| Плотность | (г/см3) | 3.21 |
| Прочность на изгиб | (МПа) | 470 |
| Тепловое расширение | (10-6/K) | 4 |
| Теплопроводность | (Вт/мК) | 300 |
Возможность поставки:
10000 шт./шт. в месяц
Упаковка и доставка:
Упаковка: Стандартная и прочная упаковка
Полиэтиленовый пакет + коробка + коробка + поддон
Порт:
Нинбо/Шэньчжэнь/Шанхай
Время выполнения:
| Количество (штук) | 1 – 1000 | >1000 |
| Стандартное восточное время. Время (дни) | 30 | Для переговоров |
