Полупроводниковая присоска из оксида алюминия представляет собой высокоточный вакуумный патрон, изготовленный из керамики на основе глинозема высокой чистоты (Al₂O₃). Он обеспечивает стабильное удержание пластины за счет вакуумной адсорбции, обеспечивая превосходную электрическую изоляцию, высокую механическую прочность и превосходную устойчивость к высоким температурам, износу и коррозии. Он широко используется в оборудовании для обработки полупроводников для точной, чистой и надежной обработки пластин.
Керамика из глинозема (Al₂O₃) — это современная инженерная керамика, известная своей исключительной твердостью, износостойкостью и легким весом. Имея твердость по шкале Роквелла 80–90 HRA, они уступают по твердости только алмазу и намного превосходят твердость износостойких сталей и нержавеющих сталей. Износостойкость Semcioera исключительно высока — в 266 раз выше, чем у марганцевой стали и 171.5 раз больше, чем у высокохромистого чугуна, что значительно продлевает срок службы оборудования при одинаковых условиях работы. Кроме того, при низкой плотности около 3,5 г/см³ (примерно вдвое меньше, чем у стали), глиноземная керамика Semicera помогает снизить общий вес и нагрузку оборудования, что делает их идеальными для высокопроизводительных конструкционных и износостойких применений.
Полупроводниковая присоска из оксида алюминия обладает превосходными характеристиками при работе с пластинами в высокотехнологичных полупроводниковых процессах.:
Высокая чистота
Низкое образование частиц, подходит для чистых помещений класса 1/10.
Высокая твердость и износостойкость
Предотвращает появление царапин на пластинах и обеспечивает длительный срок службы.
Высокая термостойкость
Применяется в высокотемпературных процессах, таких как CVD, PVD и травление.
Отличная химическая стабильность
Устойчив к кислотам и щелочам и не вносит технологических загрязнений.
Хорошая стабильность размеров
Низкое тепловое расширение обеспечивает высокую точность центровки и точность процесса.
Область применения: Машиностроение, электроника, химическая, нефтяная и другие отрасли промышленности.
Конкретные приложения: Электрокерамические подложки, плунжеры, уплотнительные кольца, износостойкие компоненты, изолирующие детали и коррозионностойкие конструктивные элементы.
