В процессе производства полупроводниковых ИС часто необходимо использовать инструмент для переноса, очистки и обработки чипа. Инструмент, в котором находится чип, обычно называется лодочкой для пластин, которая будет снабжена несколькими слотами для пластин, каждый слот для пластины используется для размещения пластины. В процессе производства полупроводниковых пластин процесс диффузии печной трубы является одним из основных процессов. В процессе диффузии несколько пластин сначала помещаются в лодочку из кристаллов кварца, а затем лодочка из кристаллов кварца помещается в трубу печи для серийного производства.
