Нагревательные элементы Semicera для подложек MOCVD разработаны для обеспечения точного и стабильного контроля температуры в процессах химического осаждения металлов и органических соединений из паровой фазы (MOCVD). Эти нагревательные элементы, изготовленные из высококачественного графита, обеспечивают исключительную теплопроводность, равномерный нагрев и долгосрочную надежность. Нагревательные элементы Semicera идеально подходят для производства полупроводников, производства светодиодов и применения современных материалов. Они обеспечивают стабильную производительность, оптимизируя процесс подложки MOCVD для достижения максимальной эффективности и качества.
Основные характеристики графитового нагревателя:
1. однородность нагревательной структуры.
2. Хорошая электропроводность и высокая электрическая нагрузка.
3. коррозионная стойкость.
4. неокисляемость.
5. Высокая химическая чистота.
6. высокая механическая прочность.
Преимуществом является энергоэффективность, высокая стоимость и низкие эксплуатационные расходы. Мы можем производить антиокислительные и долговечные графитовые тигли, графитовые формы и все части графитовых нагревателей.
|
Техническая спецификация |
Semicera-M3 |
|
Объемная плотность (г/см3) |
≥1.85 |
|
Содержание золы (PPM) |
≤500 |
|
Твердость по Шору |
≥45 |
|
Удельное сопротивление (мкОм.м) |
≤12 |
|
Прочность на изгиб (МПа) |
≥40 |
|
Прочность на сжатие (МПа) |
≥70 |
|
Макс. Размер зерна (мкм) |
≤43 |
|
Коэффициент теплового расширения мм/°C |
≤4.4*10-6 |
