Ствол Semicera из пористого карбида тантала высокой чистоты с покрытием специально разработан для печей для выращивания кристаллов карбида кремния (SiC). Благодаря покрытию из карбида тантала высокой чистоты и пористой структуре этот ствол обеспечивает исключительную термическую стабильность и стойкость к химической коррозии. Передовая технология нанесения покрытий Semicera обеспечивает долговечность и эффективность процессов выращивания кристаллов SiC, что делает ее идеальным выбором для требовательных полупроводниковых приложений.
Пористый ствол с покрытием из карбида тантала представляет собой карбид тантала в качестве основного материала покрытия, карбид тантала обладает отличной коррозионной стойкостью, износостойкостью и стабильностью при высоких температурах. Он может эффективно защитить основной материал от химической эрозии и высокотемпературной атмосферы. Основной материал обычно обладает характеристиками устойчивости к высоким температурам и коррозии. Он может обеспечить хорошую механическую прочность и химическую стабильность и в то же время служить несущей основой покрытия из карбида тантала.
Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей. Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (токоприемник TaC с графитовым покрытием) и продлевая срок службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
После многих лет разработок, совместными усилиями отдела исследований и разработок, компания Semicera освоила технологию CVD TaC. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использования TaC разница значительна. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
Кроме того, продукты Semicera с покрытием TaC демонстрируют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению с продуктами Semicera. SiC-покрытия. Лабораторные измерения показали, что наши покрытия TaC могут стабильно работать при температурах до 2300 градусов Цельсия в течение длительного периода времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
