Лопасть из карбида кремния высокой чистоты

Лопатка Semicera из карбида кремния высокой чистоты разработана для современных полупроводниковых применений и обеспечивает превосходную термическую стабильность и механическую прочность. Эта лопатка из карбида кремния обеспечивает точную обработку пластин, что делает ее идеальным выбором для высокотемпературных сред. Свяжитесь с нами для запросов!

Лопатка Semicera из карбида кремния высокой чистоты тщательно разработана с учетом строгих требований современных процессов производства полупроводников. Эта консольная лопатка из карбида кремния превосходно работает в условиях высоких температур, обеспечивая непревзойденную термическую стабильность и механическую долговечность. Консольная конструкция SiC рассчитана на экстремальные условия и обеспечивает надежную работу с пластинами в различных процессах.

Одной из ключевых инноваций SiC Paddle является его легкая, но прочная конструкция, которая позволяет легко интегрировать его в существующие системы. Его высокая теплопроводность помогает поддерживать стабильность пластин на критических этапах, таких как травление и осаждение, сводя к минимуму риск повреждения пластин и обеспечивая более высокий выход продукции. Использование карбида кремния высокой плотности в конструкции лопасти повышает ее устойчивость к износу, обеспечивая длительный срок службы и снижая необходимость частой замены.

Semicera уделяет большое внимание инновациям, предлагая консольные лопатки из карбида кремния, которые не только соответствуют отраслевым стандартам, но и превосходят их. Эта лопатка оптимизирована для использования в различных полупроводниковых приложениях, от осаждения до травления, где точность и надежность имеют решающее значение. Интегрируя эту передовую технологию, производители могут рассчитывать на повышение эффективности, снижение затрат на техническое обслуживание и стабильное качество продукции.

Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния

Свойство

Типичное значение

Рабочая температура (°С)

1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда)

содержание карбида кремния

> 99.96%

Бесплатный Si-контент

< 0.1%

Объемная плотность

2,60-2,70 г/см 3

Кажущаяся пористость

< 16%

Сила сжатия

&gt; 600 МПа

Прочность на холодный изгиб

80-90 МПа (20°С)

Прочность на горячий изгиб

90-100 МПа (1400°С)

Тепловое расширение при 1500°C

4.70 10 -6 /°С

Теплопроводность при 1200°C

23 Вт/м•К

Модуль упругости

240 ГПа

Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

0f75f96b9a8d9016a504c0c47e59375

Семицера Рабочее место

Семицера рабочее место 2

Оборудование машины

Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD

Склад Семицера

Наш сервис

Новостная рассылка

С нетерпением ждем вашего контакта с нами