Нагреватели и нагревательные элементы подложки MOCVD компании Semicera разработаны с учетом жестких требований процессов эпитаксии полупроводников. Эти компоненты, разработанные для использования в системах MOCVD, обеспечивают равномерное распределение тепла, точный контроль температуры и превосходную термическую стабильность, помогая поддерживать постоянные условия роста по всей поверхности пластины.
Изготовленные из высококачественных материалов и оптимизированные для работы при высоких температурах, отопительные решения Semicera обеспечивают надежную работу, длительный срок службы и эффективное управление температурным режимом. Они широко используются в производстве полупроводниковых приборов, силовой электроники и эпитаксиальных пластин светодиодов, обеспечивая повышение согласованности технологического процесса и общую эффективность производства.
Нагреватель подложки MOCVD, нагревательные элементы для MOCVD
Графитовый нагреватель:
Компоненты графитового нагревателя используются в высокотемпературной печи с температурой, достигающей 2200 градусов в вакуумной среде и 3000 градусов в среде раскисленного и введенного газа.
1. Равномерность нагревательной структуры.
2. Хорошая электропроводность и высокая электрическая нагрузка.
3. Коррозионная стойкость.
4. Неокисляемость.
5. Высокая химическая чистота.
6. Высокая механическая прочность.
Преимуществом является энергоэффективность, высокая стоимость и низкие эксплуатационные расходы.
Мы можем производить антиокислительные и долговечные графитовые тигли, графитовые формы и все части графитовых нагревателей.
Преимущество: Высокая термостойкость.
Применение: MOCVD/вакуумная печь/горячая зона
Объемная плотность: 1.68-1.91g/cm3
Прочность на изгиб: 30-46МПа
Сопротивление: 7-12 мкОмм
| Техническая спецификация | VET-M3 |
| Объемная плотность (г/см3) | 1.68-1.91 |
| Содержание золы (PPM) | ≤500 |
| Твердость по Шору | ≥45 |
| Удельное сопротивление (мкОм.м) | ≤12 |
| Прочность на изгиб (МПа) | ≥40 |
| Прочность на сжатие (МПа) | ≥70 |
| Макс. Размер зерна (мкм) | ≤43 |
| Коэффициент теплового расширения мм/°C | ≤4.4*10-6 |
Графитовые нагреватели Semicera для электропечей изготовлены из графитовых материалов высокой чистоты, обладающих превосходной устойчивостью к высоким температурам, термической стабильностью, электропроводностью и механической прочностью. Эти нагреватели, разработанные для сложных условий термической обработки, обеспечивают эффективное и равномерное выделение тепла, сохраняя при этом надежную работу при длительной работе при высоких температурах. Semicera может производить широкий спектр конфигураций графитовых нагревателей в соответствии с чертежами и спецификациями клиентов, поддерживая индивидуальные решения для полупроводниковых, фотоэлектрических, вакуумных печей и термообработки.
Semicera является поставщиком современной полупроводниковой керамики и единственным производителем в Китае, который может одновременно поставлять керамику из карбида кремния высокой чистоты (особенно рекристаллизованный SiC) и покрытие CVD SiC. Кроме того, наша компания также занимается керамическим производством, таким как оксид алюминия, нитрид алюминия, цирконий, нитрид кремния и т. д.
Наша основная продукция включает в себя: травильный диск из карбида кремния, лодочный жгут из карбида кремния, лодочку для пластин из карбида кремния (фотоэлектрические и полупроводниковые), печные трубы из карбида кремния, консольные лопатки из карбида кремния, патроны из карбида кремния, балку из карбида кремния, а также покрытие CVD SiC и покрытие TaC. Продукция в основном используется в полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности, например, в оборудовании для выращивания кристаллов, эпитаксии, травления, упаковки, нанесения покрытий, диффузионных печей и т. д.
Наша компания располагает полным производственным оборудованием, таким как оборудование для формования, спекания, обработки, нанесения покрытий и т. д., которое может завершить все необходимые звенья производства продукции и обеспечить более высокий контроль качества продукции; Оптимальный план производства может быть выбран в соответствии с потребностями продукта, что приводит к снижению затрат и предоставлению клиентам более конкурентоспособной продукции; Мы можем гибко и эффективно планировать производство в зависимости от требований к доставке заказа и в сочетании с онлайн-системами управления заказами, предоставляя клиентам более быстрые и гарантированные сроки доставки.
