Кольца RTP CVD SiC в основном состоят из карбида кремния (SiC), химический состав и кристаллическая структура которого обеспечивают превосходные характеристики. Карбид кремния — керамический материал с высокой температурой плавления, высокой твердостью и отличной коррозионной стойкостью. Он демонстрирует хорошую теплопроводность и химическую стабильность при высоких температурах, а также обладает превосходной механической прочностью и износостойкостью.
Кольца RTP CVD SiC широко используются в промышленных и научных областях в условиях высоких температур и агрессивных сред. Он играет важную роль в производстве полупроводников, оптоэлектроники, точного машиностроения и химической промышленности. Конкретные приложения включают в себя:
1. Производство полупроводников: кольца RTP CVD SiC можно использовать для нагрева и охлаждения полупроводникового оборудования, обеспечивая стабильный контроль температуры и гарантируя точность и постоянство процесса.
2. Оптоэлектроника. Благодаря превосходной теплопроводности и устойчивости к высоким температурам кольца RTP CVD SiC можно использовать в качестве опорных и теплоотводящих материалов для лазеров, волоконно-оптического оборудования связи и оптических компонентов.
3. Прецизионное оборудование: кольца RTP CVD SiC можно использовать для точных инструментов и оборудования, работающих в высокотемпературных и агрессивных средах, таких как высокотемпературные печи, вакуумные устройства и химические реакторы.
4. Химическая промышленность. Благодаря своей коррозионной стойкости и химической стабильности кольца RTP CVD SiC можно использовать в контейнерах, трубах и реакторах в химических реакциях и каталитических процессах.
Производительность продукта:
1. Соответствовать процессу ниже 28 нм
2. Суперкоррозионная стойкость
3. Суперчистая производительность
4. Супер твердость
5. Высокая плотность
6. Высокая термостойкость.
7. Износостойкость
Применение продукта:
Карбидокремниевые материалы обладают характеристиками высокой твердости, износостойкости, коррозионной стойкости и высокой температурной стабильности. Продукты с отличными комплексными характеристиками широко используются в процессах сухого травления и TF/диффузии.
Производительность продукта:
1. Соответствовать процессу ниже 28 нм
2. Суперкоррозионная стойкость
3. Суперчистая производительность
4. Супер твердость
5. Высокая плотность
6. Высокая термостойкость.
7. Износостойкость
Разработка комплексного процесса:
• Графит + SiC покрытие
• Твердый CVD SiC
• Спеченный SiC+CVD
• SicСпеченный SiC
Разработка нескольких типов продуктов:
• Кольцо
• Стол
• Суцептор
• Насадка для душа
