Полупроводниковое керамическое изоляционное кольцо из глинозема

Описание

Полупроводниковое керамическое изоляционное кольцо представляет собой керамический компонент высокой чистоты, используемый в оборудовании для производства полупроводников для обеспечения электроизоляции, термической стабильности и контроля загрязнения. Изготовлен из современных керамических материалов, таких как Оксид алюминия (Al₂O₃), цирконий (ZrO₂) или нитрид алюминия (AlN) , он широко используется в системы плазменного травления, CVD, PVD, диффузии и обработки пластин.

Основные характеристики

1. Отличная электроизоляция: Высокое удельное сопротивление и диэлектрическая прочность, предотвращающие утечку тока и электрические помехи.
2. Высокая термостойкость: Сохраняет стабильность в условиях высоких температур, поэтому подходит для термических процессов полупроводников.
3. Отличная химическая стойкость: Устойчив к кислотам, щелочам и агрессивным газам, совместим с плазменной и вакуумной средой.

4. Высокая механическая прочность: Высокая твердость, износостойкость и длительный срок службы.

5. Высокая чистота и низкое образование частиц: Это минимизирует риск загрязнения и соответствует требованиям к чистым помещениям для полупроводников.

6. Отличная стабильность размеров: Низкий коэффициент теплового расширения обеспечивает точное позиционирование и точность сборки.        

Технические данные Semicera:

Приложение

Полупроводниковая промышленность

• Оборудование для плазменного травления

• Системы CVD/PVD

• Диффузионные и окислительные печи

• Оборудование для ионной имплантации

• Электростатические патроны в сборе

• Оборудование для обработки пластин

Электронная промышленность

• Компоненты электроизоляции

• Высоковольтные изоляционные конструкции

Промышленное оборудование

• Вакуумные системы

• Высокотемпературное технологическое оборудование

• Прецизионные изоляционные компоненты