Цирконий (ZrO₂) — это современный керамический материал, известный своей исключительной механической прочностью, высокой вязкостью разрушения и превосходной износостойкостью. Циркониевая керамика Semicera производится с использованием 3 мол% цирконий, стабилизированный иттрием (3Y-TZP), который имеет мелкозернистую структуру, обеспечивающую высокоточную обработку и исключительную точность размеров. По сравнению с обычной керамикой диоксид циркония обладает превосходной прочностью, ударопрочностью и долговечностью, что делает его идеальным материалом для компонентов для работы с полупроводниковыми пластинами, прецизионных механических деталей, промышленных инструментов и систем автоматизации. Низкое образование частиц и превосходная стабильность также делают его подходящим для производства полупроводников с высокой степенью чистоты.
Полупроводниковая керамическая вилка из циркония — это высокоточный компонент для обработки пластин, используемый в полупроводниковой автоматизации и системах переноса пластин. Изготовленный из высокоэффективной циркониевой керамики (ZrO₂), он предназначен для транспортировки, позиционирования и поддержки пластин в процессе производства полупроводников. Благодаря своей высокой прочности, превосходной износостойкости и низкому образованию частиц вилки из циркониевой керамики широко используются в роботах для обработки пластин, передаточных рычагах, загрузочных портах и оборудовании для вакуумной обработки.
Основные характеристики деталей из циркониевой керамики :
1. Отличная износостойкость, в 276 раз выше, чем у нержавеющей стали.
2. Более высокая плотность, чем у большинства технической керамики. 6 г/см3
3. Высокая твердость, более 1300 МПа по Виккерсу.
4. Может выдерживать более высокие температуры до 2400°
5. Низкая теплопроводность, менее 3 Вт/мК при комнатной температуре.
6. Коэффициент теплового расширения такой же, как у нержавеющей стали.
7. Исключительная вязкость разрушения достигает 8 МПа·м1/2.
8. Химическая инертность, устойчивость к старению и отсутствие ржавчины навсегда.
9. Устойчивость к расплавленным металлам благодаря исключительной температуре плавления. .
Полупроводниковая промышленность
Роботы для обработки пластин
Системы переноса пластин
Погрузочное портовое оборудование
ФОУП Оборудование для автоматизации
Вакуумное технологическое оборудование
Линии по производству полупроводников
Дисплейная индустрия
Системы переноса стекла ЖК-дисплея
Оборудование для производства OLED
Прецизионная автоматизация
Роботизированные конечные эффекторы
Системы точного позиционирования
