Лопасть из карбида кремния, также известная как консольная лопасть из карбида кремния, консольная балка из карбида кремния представляет собой разновидность керамических изделий из карбида кремния после высокотемпературного спекания 1850 ℃, но высокотемпературное спекание керамики из карбида кремния представляет собой специальные керамические изделия, впрессованные в заготовку мелкими частицами α-SiC и добавками, в контакте с жидким кремнием при высокой температуре, углеродом в заготовке и инфильтрацией реакции Si, образованием β-SiC и в сочетании с α-SiC, свободный кремний заполнил пористость, чтобы получить керамические материалы высокой плотности; Он обладает превосходными свойствами промышленной керамики.
Консольная лопасть из карбида кремния является критически важным несущим компонентом, используемым в полупроводниковом высокотемпературном технологическом оборудовании, таком как диффузионные печи, печи окисления и системы LPCVD. Он предназначен для переноски и перемещения вафельных корабликов при термической обработке.
Изготовленный из карбида кремния высокой чистоты (SiC), он обеспечивает превосходную высокотемпературную стабильность, сопротивление ползучести и стойкость к химической коррозии. Даже в экстремальных условиях (1000–1600°C) он сохраняет высокую жесткость и стабильность размеров, обеспечивая стабильное качество обработки пластин и выход продукции.
|
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния |
|
|
Свойство |
Типичное значение |
|
Рабочая температура (°С) |
1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
|
содержание карбида кремния |
> 99.96% |
|
Бесплатный Si-контент |
< 0.1% |
|
Объемная плотность |
2,60-2,70 г/см 3 |
|
Кажущаяся пористость |
< 16% |
|
Сила сжатия |
> 600 МПа |
|
Прочность на холодный изгиб |
80-90 МПа (20°С) |
|
Прочность на горячий изгиб |
90-100 МПа (1400°С) |
|
Тепловое расширение при 1500°C |
4.70 10 -6 /°С |
|
Теплопроводность при 1200°C |
23 Вт/м•К |
|
Модуль упругости |
240 ГПа |
|
Устойчивость к термическому удару |
Очень хорошо |
Длина нашей консольной лопатки SiC варьируется от 1500 до 3500 мм. Размер консольной лопасти из карбида кремния может быть изменен в соответствии со спецификациями заказчика.
