Лопасть из карбида кремния, также известная как консольная лопасть из карбида кремния, консольная балка из карбида кремния представляет собой разновидность керамических изделий из карбида кремния после высокотемпературного спекания 1850 ℃, но высокотемпературное спекание керамики из карбида кремния представляет собой специальные керамические изделия, состоящие из мелких частиц α-SiC и добавок, впрессованных в заготовку, в контакте с жидким кремнием при высокой температуре, углеродом в заготовке и инфильтрацией реакции Si, образованием β-SiC и в сочетании с α-SiC, свободный кремний заполнил пористость, чтобы получить керамические материалы высокой плотности; Он обладает превосходными свойствами промышленной керамики.
Лопасти Semicera SiC разработаны с учетом минимального теплового расширения, обеспечивая стабильность и точность в процессах, где точность размеров имеет решающее значение. Это делает их идеальными для применений, где пластины подвергаются повторяющимся циклам нагрева и охлаждения, поскольку лодочка для пластин сохраняет свою структурную целостность, обеспечивая стабильную производительность.
Включение диффузионных лопастей из карбида кремния Semicera в вашу производственную линию повысит надежность вашего процесса благодаря их превосходным термическим и химическим свойствам. Эти лопатки идеально подходят для процессов диффузии, окисления и отжига, гарантируя бережное и точное обращение с пластинами на каждом этапе.
Инновации лежат в основе конструкции карбид-кремниевых лопастей Semicera. Эти лопатки идеально подходят для существующего полупроводникового оборудования, обеспечивая повышенную эффективность работы. Легкая конструкция и эргономичный дизайн не только улучшают транспортировку пластин, но и сокращают время простоев в работе, что приводит к оптимизации производства.
|
Физические свойства рекристаллизованного карбида кремния |
|
|
Свойство |
Типичное значение |
|
Рабочая температура (°С) |
1600°С (с кислородом), 1700°С (восстановительная среда) |
|
содержание карбида кремния |
> 99.96% |
|
Бесплатный Si-контент |
< 0.1% |
|
Объемная плотность |
2,60-2,70 г/см 3 |
|
Кажущаяся пористость |
< 16% |
|
Сила сжатия |
> 600 МПа |
|
Прочность на холодный изгиб |
80-90 МПа (20°С) |
|
Прочность на горячий изгиб |
90-100 МПа (1400°С) |
|
Тепловое расширение при 1500°C |
4.70 10 -6 /°С |
|
Теплопроводность при 1200°C |
23 Вт/м•К |
|
Модуль упругости |
240 ГПа |
|
Устойчивость к термическому удару |
Очень хорошо |
