Графитовый нагреватель с покрытием SiC для MOCVD K465i, эпитаксиальный графитовый нагреватель для полупроводникового оборудования

Semicera Semiconductor — ведущий поставщик, специализирующийся на пластинах и современных полупроводниковых расходных материалах. Мы стремимся предоставлять высококачественную, надежную и инновационную продукцию для производства полупроводников, фотоэлектрической промышленности и других смежных областей. Наша линейка продуктов включает графитовые изделия с покрытием SiC/TaC и керамические изделия, включая различные материалы, такие как карбид кремния, нитрид кремния, оксид алюминия и т. д. Как надежный поставщик, мы понимаем важность расходных материалов в производственном процессе и стремимся поставлять продукцию, соответствующую самым высоким стандартам качества, чтобы удовлетворить потребности наших клиентов.

Основные характеристики графитового нагревателя:

1. однородность нагревательной структуры.

2. Хорошая электропроводность и высокая электрическая нагрузка.

3. коррозионная стойкость.

4. неокисляемость.

5. высокая химическая чистота.

6. высокая механическая прочность.

Преимуществом является энергоэффективность, высокая стоимость и низкие эксплуатационные расходы. Мы можем производить антиокислительные и долговечные графитовые тигли, графитовые формы и все части графитовых нагревателей.

Графитовый нагреватель (1)(1)

Основные параметры графитового нагревателя

Техническая спецификация

VET-M3

Объемная плотность (г/см3)

≥1.85

Содержание золы (PPM)

≤500

Твердость по Шору

≥45

Удельное сопротивление (мкОм.м)

≤12

Прочность на изгиб (МПа)

≥40

Прочность на сжатие (МПа)

≥70

Макс. Размер зерна (мкм)

≤43

Коэффициент теплового расширения мм/°C

≤4.4*10-6

Семицера Рабочее место

Семицера рабочее место 2

Оборудование машины

Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD

Склад Семицера

Наш сервис

Новостная рассылка

С нетерпением ждем вашего контакта с нами