Покрытие обладает высокой чистотой, высокой термостойкостью и химической стойкостью, что позволяет эффективно защищать графитовые поверхности от износа, коррозии и окисления. Покрытие из карбида тантала — это высокоэффективная технология покрытия поверхности, которая обеспечивает превосходное повышение производительности за счет формирования износостойкого и коррозионностойкого защитного слоя на поверхности материала.
Semicera Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей. Semicera Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (токоприемник TaC с графитовым покрытием) и продлевая срок службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала предназначено для решения проблемы кромок и улучшения качества роста кристаллов. Компания Semicera Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
После многих лет разработок, совместными усилиями отдела исследований и разработок, компания Semicera освоила технологию CVD TaC. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использования TaC разница значительна. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
Кроме того, продукты Semicera с покрытием TaC демонстрируют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению с продуктами Semicera. SiC-покрытия. Лабораторные измерения показали, что наши покрытия TaC могут стабильно работать при температурах до 2300 градусов Цельсия в течение длительного периода времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
