Кардридовые лотки для выводов Semicera для процессов ICP-травления в светодиодной промышленности специально разработаны для повышения эффективности и точности операций травления. Эти лотки для штифтов, изготовленные из высококачественного карбида кремния, обладают превосходной термической стабильностью, химической стойкостью и механической прочностью. Идеальные для сложных условий процесса производства светодиодов, лотки для выводов Semicera из карбида кремния обеспечивают равномерное травление, минимизируют загрязнение и повышают общую надежность процесса, способствуя производству высококачественных светодиодов.
Описание продукта
Наша компания предоставляет услуги по нанесению покрытия SiC методом CVD на поверхность графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекулы осаждаются на поверхности материалов с покрытием, образуя защитный слой SIC.
Основные особенности:
1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:
стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.
2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.
3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
Основные характеристики покрытия CVD-SIC
|
Свойства SiC-CVD |
||
|
Кристаллическая структура |
FCC β-фаза |
|
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
|
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
|
Размер зерна |
мм |
2~10 |
|
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
|
Теплоемкость |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
|
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
|
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
|
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
|
Тепловое расширение (КТР) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
