Эпитаксия карбида кремния

Эпитаксия карбида кремния – высококачественные эпитаксиальные слои, специально разработанные для передовых полупроводниковых применений, обеспечивающие превосходную производительность и надежность для силовой электроники и оптоэлектронных устройств.

Семицера Эпитаксия карбида кремния разработан с учетом строгих требований современных полупроводниковых приложений. Используя передовые методы эпитаксиального выращивания, мы гарантируем, что каждый слой карбида кремния обладает исключительным кристаллическим качеством, однородностью и минимальной плотностью дефектов. Эти характеристики имеют решающее значение для разработки высокопроизводительной силовой электроники, где эффективность и управление температурным режимом имеют первостепенное значение.

Эпитаксия карбида кремния Процесс в Semicera оптимизирован для получения эпитаксиальных слоев с точной толщиной и контролем легирования, что обеспечивает стабильную производительность на различных устройствах. Такой уровень точности необходим для применения в электромобилях, системах возобновляемых источников энергии и высокочастотной связи, где надежность и эффективность имеют решающее значение.

Более того, компания Semicera Эпитаксия карбида кремния обеспечивает повышенную теплопроводность и более высокое напряжение пробоя, что делает его предпочтительным выбором для устройств, работающих в экстремальных условиях. Эти свойства способствуют увеличению срока службы устройств и повышению общей эффективности системы, особенно в условиях высокой мощности и высоких температур.

Semicera также предоставляет возможности настройки для Эпитаксия карбида кремния , что позволяет создавать индивидуальные решения, отвечающие конкретным требованиям к устройствам. Будь то исследования или крупномасштабное производство, наши эпитаксиальные слои предназначены для поддержки полупроводниковых инноваций следующего поколения, позволяющих разрабатывать более мощные, эффективные и надежные электронные устройства.

Интегрируя передовые технологии и строгие процессы контроля качества, Semicera гарантирует, что наши Эпитаксия карбида кремния продукция не только соответствует отраслевым стандартам, но и превосходит их. Стремление к совершенству делает наши эпитаксиальные слои идеальной основой для передовых полупроводниковых приложений, открывая путь к прорывам в силовой и оптоэлектронике.

Предметы

Производство

Исследовать

Дурачок

Параметры кристалла

Политип

4H

Ошибка ориентации поверхности

<11-20 >4±0.15°

Электрические параметры

легирующая примочка

Азот n-типа

Удельное сопротивление

0,015-0,025 Ом·см

Механические параметры

Диаметр

150,0±0,2 мм

Толщина

350±25 мкм

Первичная плоская ориентация

[1-100]±5°

Первичная плоская длина

47,5±1,5 мм

Вторичная квартира

Никто

ТТВ

≤5 мкм

≤10 мкм

≤15 мкм

Общая ценность

≤3 мкм(5мм*5мм)

≤5 мкм(5мм*5мм)

≤10 мкм(5мм*5мм)

Поклон

-15 мкм ~ 15 мкм

-35 мкм ~ 35 мкм

-45 мкм ~ 45 мкм

Деформация

≤35 мкм

≤45 мкм

≤55 мкм

Шероховатость передней поверхности (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Структура

Плотность микротрубок

&lt;1 шт./см2

&lt;10 шт/см2

&lt;15 шт/см2

Металлические примеси

≤5E10atoms/cm2

NA

БЛД

≤1500 шт/см2

≤3000 шт/см2

NA

ТСД

≤500 шт/см2

≤1000 шт/см2

NA

Переднее качество

Передний

Си

Чистота поверхности

Si-лицо CMP

Частицы

≤60 шт/пластина (размер ≥0,3 мкм)

NA

Царапины

≤5 шт./мм. Совокупная длина ≤Диаметр

Совокупная длина≤2*диаметр

NA

Апельсиновая корка/косточки/пятна/бороздки/трещины/загрязнения

Никто

NA

Краевые сколы/вмятины/изломы/шестигранные пластины

Никто

Политипные области

Никто

Совокупная площадь≤20%

Совокупная площадь≤30%

Передняя лазерная маркировка

Никто

Назад Качество

Задняя отделка

C-образная грань CMP

Царапины

≤5 шт./мм, совокупная длина≤2*диаметр

NA

Дефекты задней стороны (сколы/вмятины по краям)

Никто

Задняя шероховатость

Ra≤0,2 нм (5 мкм*5 мкм)

Задняя лазерная маркировка

1 мм (от верхнего края)

Край

Край

Фаска

Упаковка

Упаковка

Эпи-готовность в вакуумной упаковке

Многовафельная кассетная упаковка

*Примечания: «NA» означает отсутствие запроса. Неуказанные элементы могут относиться к SEMI-STD.

tech_1_2_size

SiC пластины

Новостная рассылка

С нетерпением ждем вашего контакта с нами