Несущая пластина RTA из карбида кремния для полупроводников

Карбид кремния — это новый тип керамики с высокими экономическими характеристиками и отличными свойствами материала. Благодаря таким характеристикам, как высокая прочность и твердость, устойчивость к высоким температурам, отличная теплопроводность и стойкость к химической коррозии, карбид кремния может противостоять практически всем химическим средам. Таким образом, SiC широко используются в нефтедобывающей, химической, машиностроительной и воздушной сферах, даже в атомной энергетике и в вооруженных силах предъявляют особые требования к SIC. Некоторые обычные применения, которые мы можем предложить, - это уплотнительные кольца для насосов, клапанов, защитной брони и т. д. Мы можем спроектировать и изготовить в соответствии с вашими конкретными размерами с хорошим качеством и разумными сроками доставки.

Описание

Наша компания предоставляет услуги по нанесению покрытия SiC методом CVD на поверхность графита, керамики и других материалов, так что специальные газы, содержащие углерод и кремний, реагируют при высокой температуре с получением молекул SiC высокой чистоты, молекулы осаждаются на поверхности материалов с покрытием, образуя защитный слой SIC.

Основные характеристики

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:
стойкость к окислению остается очень хорошей при температуре до 1600 C.
2. Высокая чистота: производится методом химического осаждения из паровой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования.
3. Устойчивость к эрозии: высокая твердость, компактная поверхность, мелкие частицы.
4. Коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

Свойства SiC-CVD

Кристаллическая структура FCC β-фаза
Плотность г/см³ 3.21
Твердость Твердость по Виккерсу 2500
Размер зерна мм 2~10
Химическая чистота % 99.99995
Теплоемкость Дж·кг-1 ·К-1 640
Температура сублимации 2700
Фелексуральная сила МПа (RT 4-точечный) 415
Модуль Юнга Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) 430
Тепловое расширение (КТР) 10-6K-1 4.5
Теплопроводность (Вт/мК) 300

Семицера Рабочее место

Семицера рабочее место 2

Оборудование машины

Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD

Наш сервис

Новостная рассылка

С нетерпением ждем вашего контакта с нами