Вафельные токоприемники из карбида кремния (SiC) для MOCVD

Токоприемник пластины из карбида кремния (SiC) является одним из ключевых компонентов, используемых в процессе химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD). Его основная роль заключается в мониторинге и контроле ключевых параметров процесса MOCVD для обеспечения качества роста и однородности тонкой пленки.

Описание

Вафельные токоприемники из карбида кремния (SiC) для MOCVD от Semicera предназначены для передовых эпитаксиальных процессов и обеспечивают превосходную производительность как для Si-эпитаксии, так и для SiC-эпитаксии. Инновационный подход Semicera гарантирует, что эти датчики долговечны и эффективны, обеспечивая стабильность и точность для критически важных производственных операций.

Эти продукты, разработанные для удовлетворения сложных потребностей систем MOCVD-приемников, универсальны и совместимы с такими носителями, как PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier и RTP Carrier. Их гибкость делает их подходящими для высокотехнологичных отраслей, в том числе работающих со светодиодными эпитаксиальными токоприемниками и монокристаллическим кремнием.

Благодаря множеству конфигураций, включая цилиндрический токоприемник и блинчатый токоприемник, эти пластинчатые токоприемники также незаменимы в фотоэлектрическом секторе, поддерживая производство фотоэлектрических деталей. Для производителей полупроводников способность обрабатывать процессы эпитаксии GaN на SiC делает эти токоприемники очень ценными для обеспечения высококачественной продукции в широком спектре приложений.

 

Основные характеристики

1. Графит высокой чистоты с покрытием SiC.

2. Превосходная термостойкость и термическая однородность.

3. Мелкие кристаллы SiC с гладким покрытием.

4. Высокая стойкость к химической чистке.

 

Основные характеристики покрытий CVD-SIC:

SiC-CVD
Плотность (г/см3) 3.21
Прочность на изгиб (МПа) 470
Тепловое расширение (10-6/K) 4
Теплопроводность (Вт/мК) 300

Упаковка и доставка

Возможность поставки:
10000 шт./шт. в месяц
Упаковка и доставка:
Упаковка: стандартная и прочная упаковка
Полиэтиленовый пакет + коробка + коробка + поддон
Порт:
Нинбо/Шэньчжэнь/Шанхай
Время выполнения:

Количество (штук)

1-1000

>1000

 Стандартное восточное время. Время (дни) 30 Для переговоров

Семицера Рабочее место

Семицера рабочее место 2

Оборудование машины

Обработка CNN, химическая очистка, покрытие CVD

Склад Семицера

Наш сервис

Новостная рассылка

С нетерпением ждем вашего контакта с нами