Графитовая пластина с покрытием из карбида тантала от Semicera разработана для высокопроизводительных применений при эпитаксии карбида кремния и выращивании кристаллов. Эта пластина обеспечивает исключительную стабильность в условиях высоких температур, агрессивных сред и высокого давления. Идеально подходит для использования в современных реакторах и печах, повышает производительность и долговечность системы. Semicera обеспечивает превосходное качество и надежность благодаря передовым технологиям нанесения покрытий для удовлетворения требовательных инженерных потребностей.
Графитовый лист с покрытием из карбида тантала представляет собой графитовый материал с тонким слоем карбида тантала на поверхности подложки. Тонкий слой карбида тантала обычно формируется на поверхности графитовой подложки с помощью таких методов, как физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или химическое осаждение из паровой фазы (CVD). Это покрытие обладает превосходными свойствами, такими как высокая твердость, отличная износостойкость, коррозионная стойкость и устойчивость к высоким температурам.
Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей. Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (токоприемник TaC с графитовым покрытием) и продлевая срок службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
После многих лет разработок, совместными усилиями отдела исследований и разработок, компания Semicera освоила технологию CVD TaC. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использования TaC разница значительна. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
К основным преимуществам графитового листа с покрытием из карбида тантала относятся::
1. Устойчивость к высоким температурам: карбид тантала имеет высокую температуру плавления и превосходную стабильность при высоких температурах, что делает графитовый лист с покрытием пригодным для использования в условиях высоких температур.
2. Коррозионная стойкость: покрытие из карбида тантала может противостоять эрозии многих химических коррозионных веществ и продлевать срок службы материала.
3. Высокая твердость. Высокая твердость тонкого слоя карбида тантала обеспечивает хорошую износостойкость и подходит для применений, требующих высокой износостойкости.
4. Химическая стабильность. Покрытие из карбида тантала обладает превосходной устойчивостью к химической коррозии и подходит для использования в некоторых агрессивных средах.
Кроме того, продукты Semicera с покрытием TaC демонстрируют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению с продуктами Semicera. SiC-покрытия. Лабораторные измерения показали, что наши покрытия TaC могут стабильно работать при температурах до 2300 градусов Цельсия в течение длительного периода времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
