Опорная пластина токоприемника с покрытием из карбида тантала от Semicera предназначена для использования при эпитаксии карбида кремния и выращивании кристаллов. Он обеспечивает стабильную поддержку в условиях высокой температуры, агрессивной среды или высокого давления, что важно для этих сложных процессов. Обычно используемый в реакторах высокого давления, печных конструкциях и химическом оборудовании, он обеспечивает производительность и стабильность системы. Инновационная технология нанесения покрытий Semicera гарантирует превосходное качество и надежность для требовательных инженерных применений.
Опорная пластина токоприемника с покрытием из карбида тантала представляет собой токоприемник или опорную конструкцию, покрытую тонким слоем карбида тантала. Это покрытие может быть сформировано на поверхности токоприемника с помощью таких методов, как физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или химическое осаждение из паровой фазы (CVD), что придает токоприемнику превосходные свойства карбида тантала.
Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей. Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (токоприемник TaC с графитовым покрытием) и продлевая срок службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
После многих лет разработок, совместными усилиями отдела исследований и разработок, компания Semicera освоила технологию CVD TaC. Дефекты легко возникают в процессе роста пластин SiC, но после использования TaC разница значительна. Ниже приведено сравнение пластин с TaC и без него, а также деталей Simicera для выращивания монокристаллов.
Основные характеристики опорных пластин с покрытием из карбида тантала включают в себя::
1. Устойчивость к высоким температурам. Карбид тантала обладает превосходной стабильностью при высоких температурах, что делает опорную пластину с покрытием подходящей для поддержки в высокотемпературных рабочих средах.
2. Коррозионная стойкость: покрытие из карбида тантала обладает хорошей коррозионной стойкостью, может противостоять химической коррозии и окислению, а также продлевает срок службы основания.
3. Высокая твердость и износостойкость. Высокая твердость покрытия из карбида тантала придает опорной пластине хорошую износостойкость, что подходит для случаев, когда требуется высокая износостойкость.
4. Химическая стабильность. Карбид тантала обладает высокой устойчивостью к различным химическим веществам, благодаря чему опорная пластина с покрытием хорошо работает в некоторых агрессивных средах.
Кроме того, продукты Semicera с покрытием TaC демонстрируют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению с продуктами Semicera. SiC-покрытия. Лабораторные измерения показали, что наши покрытия TaC могут стабильно работать при температурах до 2300 градусов Цельсия в течение длительного периода времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
