Планетарный диск из карбида тантала от Semicera является важнейшим компонентом печей для эпитаксии полупроводников и известен своей исключительной износостойкостью, высокой твердостью и термической стабильностью. Этот диск, широко используемый в прецизионных приборах, аэрокосмической промышленности и производстве полупроводников, обеспечивает превосходную производительность и долговечность. Полупроводники Semicera гарантируют высочайшее качество и надежность в высокоточных механических системах передачи.
Semicera предлагает специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей. Передовой процесс нанесения покрытий Semicera позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI (токоприемник TaC с графитовым покрытием) и продлевая срок службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия TaC из карбида тантала призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, а компания Semicera совершила прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.
Принцип работы планетарного диска из карбида тантала аналогичен принципу работы планетарной зубчатой передачи, в которой планетарный диск действует как промежуточный приводной элемент и осуществляет передачу мощности и управление движением путем зацепления с внутренней и внешней шестернями. Планетарный диск обычно имеет несколько зубчатых канавок, которые входят в зацепление с внутренними и внешними шестернями для обеспечения плавной передачи и высокого крутящего момента.
Характеристики планетарного диска из карбида тантала следующие::
1. Износостойкость: Карбид тантала обладает чрезвычайно высокой твердостью и износостойкостью, может сохранять хорошую долговечность при высоких нагрузках и условиях высокоскоростного движения, а также снижает износ и потери на трение.
2. Высокотемпературная стабильность: Карбид тантала обладает превосходной высокотемпературной стабильностью и может работать в течение длительного времени в высокотемпературной среде без повреждений, что подходит для высокотемпературных процессов и применений.
3. Низкий коэффициент трения. Поверхность карбида тантала имеет низкий коэффициент трения, что снижает потери энергии и выделение тепла во время передачи, а также повышает эффективность передачи.
4. Высокая точность и стабильность. Планетарные диски из карбида тантала изготовлены с высоким мастерством, высокой точностью и стабильностью и обеспечивают точную передачу и контроль положения.
Кроме того, продукты Semicera с покрытием TaC демонстрируют более длительный срок службы и большую устойчивость к высоким температурам по сравнению с продуктами Semicera. SiC-покрытия. Лабораторные измерения показали, что наши покрытия TaC могут стабильно работать при температурах до 2300 градусов Цельсия в течение длительного периода времени. Ниже приведены некоторые примеры наших образцов:
