Керамические верхние пластины машины для загрузки и разгрузки циркония представляют собой высокоточные структурные платформы, используемые в системах загрузки и выгрузки полупроводниковых пластин. Изготовленные из циркония 3Y-PSZ (ZrO₂), они обладают превосходной механической прочностью, высокой вязкостью разрушения и превосходной износостойкостью. Эти керамические верхние пластины обеспечивают стабильную поддержку пластин или FOUP, высокую точность позиционирования и низкое образование частиц, что делает их идеальными для оборудования автоматизации чистых помещений.
Цирконий — это высокоэффективный керамический материал с превосходной механической прочностью и высокой вязкостью разрушения при комнатной температуре. Цирконий Semicera (ZrO₂) стабилизирован с помощью 3 мол.% иттрия (3Y-PSZ) , что обеспечивает тонкую и однородную микроструктуру, подходящую для высокоточной обработки.
Благодаря небольшому размеру зерна и стабильной фазовой структуре диоксид циркония 3Y-PSZ можно перерабатывать в сложные и высокоточные компоненты. Он широко используется в прецизионных механических деталях, промышленных инструментах и высокотехнологичных инженерных приложениях.
Цирконий также обладает превосходной износостойкостью и ударопрочностью, что делает его пригодным для сложных условий эксплуатации. Его высокая прочность позволяет ему сохранять структурную стабильность при механических нагрузках, и он обычно используется в прецизионных компонентах, промышленных системах резки и износостойких деталях.
Кроме того, диоксид циркония широко применяется в прецизионных формах, компонентах оптических соединителей, дробильных средах и других областях промышленности, требующих высокой надежности и длительного срока службы.
