Почему на внешней отводящей трубке CFC имеются маленькие отверстия?
Люси (продажи) @ Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd.
Внешняя дефлекторная трубка CFC имеет круглый край, состоящий из кромок фланцев и кольцевых отверстий для воздуха. Эти отверстия для воздуха спроектированы не произвольно, а адаптированы к структуре теплового поля, контролю воздушного потока и требованиям к фиксации установки.
1. Эффект направления воздушного потока
Внутри печи для выращивания кристаллов непрерывно циркулируют высокотемпературные газы. Если цилиндр направления потока полностью герметичен, горячие газы не могут обмениваться равномерно, и может возникнуть локальный застой воздушного потока, что приводит к образованию вихрей и локальному перегреву. Поэтому через направляющие отверстия необходимо проложить каналы для потока, чтобы поддерживать равновесие давления внутри печи и обеспечивать стабильный путь теплопередачи.
Semicera повышает однородность температурного поля печи и снижает локальные колебания температуры за счет регулирования площади поперечного сечения каналов воздушного потока, тем самым регулируя скорость и направление потока газа. Это улучшает стабильность роста кристаллов. Компания Semicera понимает, что во время роста кристаллов температурные градиенты и стабильность воздушного потока напрямую влияют на образование дефектов, плотность микротрубок и скорость роста; таким образом, дизайн пор имеет решающее значение. Semicera адаптирует различные конфигурации пор в соответствии с требованиями заказчика и условиями эксплуатации для удовлетворения конкретных потребностей.
2. Термический стресс
Как известно, материалы CFC обладают низким коэффициентом теплового расширения, превосходной стойкостью к тепловому удару и хорошей стабильностью при высоких температурах. Однако при температурах выше 2000°C все еще возникают температурные градиентные напряжения и концентрации структурных напряжений. Кроме того, направляющий цилиндр потока имеет тонкостенную конструкцию большого размера, которая должна выдерживать длительные циклические операции при высоких температурах. Если покрытие полностью лишено пор, термические напряжения будут концентрироваться, что приведет к растрескиванию кромок и возможной деформации при длительном использовании.
Таким образом, спроектировав выпускные отверстия, Semicera может прерывать путь передачи напряжений и распределять локальные термические напряжения , тем самым продлевая срок службы конструкции. Конструкция Semicera включает в себя анализ термического напряжения методом конечных элементов (FEA), моделирование теплового поля и фактические данные о сроке службы печи для определения размера и расположения отверстия.
3. Регулирование температурного поля
Сама внешняя дефлекторная трубка также служит элементом регулирования теплового излучения, а CFC является высокотемпературным радиационным материалом. Светосила в разных областях влияет на эффективность обмена теплового излучения. Другими словами, большее количество отверстий приводит к более быстрому локальному рассеиванию тепла и относительному снижению температуры, тогда как меньшее количество отверстий обеспечивает лучшую теплоизоляцию и более концентрированное распределение тепла.
Semicera регулирует количество, распределение, симметрия и светосила пор в зависимости от размера кристалла, метода выращивания и конфигурации нагрева. для достижения оптимальных характеристик теплового поля.
4. Расположение установки и структурная фиксация
Определенные отверстия также служат для установки и фиксации, соосного позиционирования и сборки теплового поля. Учитывая многочисленные слои компонентов теплового поля внутри печи для выращивания кристаллов, строгие требования к коаксиальной точности и сложность компенсации теплового расширения, точная сборка должна быть достигнута через эти положения отверстий.
Почему ХФУ больше подходят для этой структуры?
По сравнению с традиционным графитом CFC обладает более высокой механической прочностью, меньшим тепловым расширением, превосходной стойкостью к термическому удару и более длительным сроком службы. Следовательно, даже после своевременной перфорационной обработки он сохраняет высокую структурную стабильность.
ХФУ компании Semicera внешняя отводная трубка
Semicera применяет комбинированный процесс уплотнения химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и жидкофазная пропитка , эффективно решая проблему неравномерной плотности, часто встречающуюся в чисто CVD-процессах. В то же время, пропитка смолой высокой чистоты и производительности используется для достижения более высокой эффективности уплотнения, сокращения производственных циклов и увеличения срока службы продукции.
Кроме того, благодаря оптимизированному дизайну микроструктуры продукт обладает низкой пористостью в зонах угла R, отличной коррозионной стойкостью и минимальным выпадением частиц, что обеспечивает чистоту кремниевых материалов во время работы.
