Silicon Carbide Ceramic Coating

كمصنّع صيني محترف، ومورد ومصدر لكوكب السيليكون ويُستخدم على نطاق واسع في المكوِّنات الرئيسية لمعدات تصنيع شبه الموصلات، ولا سيما في عمليات التجهيز مثل CVD و PECV. سيميكيرا ملتزمة بتقديم حلول متقدمة للتكنولوجيا والمنتجات لصناعة شبه الموصلات، وترحب بمشاوراتكم الإضافية.

Ceramic Coating Ceramic Ceramic Coating is a high-performance protective coating made of extremely hard and wear-resistant silicon carbide (SiC) material. وعادة ما يودع المعاطف على سطح الهضبة من خلال عملية CVD أو PVD مع جزيئات الكربيد السيليكون، مما يوفر مقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي واستقرار درجة الحرارة العالية. ولذلك، يُستخدم التكتل السيليكوني على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع شبه الموصلات.

In semiconductor manufacturing, SiC coating can withstand extremely high temperatures of up to 1600°C, so Silicon Carbide Ceramic Coating is often used as a protective layer for equipment or tools to prevent damage in high temperature or corrosive environments.

وفي الوقت نفسه، يمكن لطلاء السيراميك السيليكوني أن يقاوم تآكل الأحماض، والآلكليس، والأكسيدات وغيرها من المواد الكيميائية، كما أن لديه مقاومة تآكل كبيرة لمجموعة متنوعة من المواد الكيميائية. ولذلك، فإن هذا المنتج مناسب لمختلف البيئات التآكلية في صناعة شبه الموصلات.

Moreover, compared with other ceramic materials, SiC has higher thermal conductivity and can effectively conduct heat. وتحدد هذه الميزة أنه في العمليات شبه الموصلية التي تتطلب مراقبة دقيقة لدرجات الحرارة، تساعد السمية الحرارية العالية في التكتل السيليكوني للكاربيدات على تفريق الحرارة بشكل متساو، وتمنع التسخين المحلي، وتكفل أن يعمل الجهاز في درجة الحرارة المثلى.

 الخصائص الفيزيائية الأساسية لأجهزة التغليف

الممتلكات

القيمة النموذجية

هيكل كريستال

FCC ette phase polycrystalline, mainly (111) oriented

 الكثافة

3.21 غرام/سم3

القوة

2500 فيكرز بشدّة (500 غرام)

Grain SiZe

2~10 ميكروغرام

Purity Chemical

99.99995%

Heat Capacity

640 يكغ-1·K-1

درجة الحرارة

2700 درجة مئوية

القوة الافتراضية

415 MPa RT 4-point

الشباب

430 Gpa 4pt bend, 1300°C

السلوك الحراري

300 امرأة-1·K-1

التوسع الحراري

4.510x-6K-1

Semicera Work place
مكان عمل سيميرا 2
آلة معدات
CNN processing, chemical cleaning, CVD coating
Semicera Ware House
خدمتنا
arArabic