Ga2O3Epitaxy– Enhance your high-power electronic and optoelectronic devices with Semicera’s Ga2O3Epitaxy, offering unmatched performance and reliability for advanced semiconductor applications.
شبه proudly offers Ga2O3 Epitaxy, a state-of-the-art solution designed to push the boundaries of power electronics and optoelectronics. This advanced epitaxial technology leverages the unique properties of Gallium Oxide (Ga2O3) to deliver superior performance in demanding applications.
الميزات الرئيسية:
• Exceptional Wide Bandgap: Ga2O3 Epitaxy features an ultra-wide bandgap, allowing for higher breakdown voltages and efficient operation in high-power environments.
• High Thermal Conductivity: The epitaxial layer provides excellent thermal conductivity, ensuring stable operation even under high-temperature conditions, making it ideal for high-frequency devices.
• Superior Material Quality: Achieve high crystal quality with minimal defects, ensuring optimal device performance and longevity, especially in critical applications such as power transistors and UV detectors.
• Versatility in Applications: Perfectly suited for power electronics, RF applications, and optoelectronics, providing a reliable foundation for next-generation semiconductor devices.
Discover the potential of Ga2O3 Epitaxy with Semicera’s innovative solutions. Our epitaxial products are designed to meet the highest standards of quality and performance, enabling your devices to operate with maximum efficiency and reliability. Choose Semicera for cutting-edge semiconductor technology.
أغراض |
إنتاج |
بحث |
دمية |
المعلمات البلورية |
|||
polytype |
4H |
||
خطأ في اتجاه السطح |
4±0.15° |
||
المعلمات الكهربائية |
|||
Dopant |
نيتروجين من النوع |
||
المقاومة |
0.015-0.025OHM · سم |
||
المعلمات الميكانيكية |
|||
قطر |
150.0 ± 0.2mm |
||
سماكة |
350 ± 25 ميكرون |
||
الاتجاه المسطح الأولي |
[1-100]±5° |
||
طول مسطح أساسي |
47.5 ± 1.5mm |
||
شقة ثانوية |
لا أحد |
||
TTV |
≤5 ميكرون |
≤10 ميكرون |
≤15 ميكرون |
LTV |
≤3 ميكرون (5 ملم*5 ملم) |
≤5 ميكرون (5 ملم*5 ملم) |
≤10 ميكرون (5 ملم*5 ملم) |
قَوس |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
الاعوجاج |
≤35 ميكرون |
≤45 ميكرون |
≤55 ميكرون |
الخشونة الأمامية (si-face) (AFM) |
Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
||
بناء |
|||
كثافة micropipe |
<1 EA/CM2 |
<10 EA/CM2 |
<15 EA/CM2 |
الشوائب المعدنية |
≤5E10atoms/cm2 |
نا |
|
BPD |
≤1500 EA/CM2 |
≤3000 EA/CM2 |
نا |
TSD |
≤500 EA/CM2 |
≤1000 EA/CM2 |
نا |
الجودة الأمامية |
|||
أمام |
سي |
||
الانتهاء من السطح |
Si-Face CMP |
||
الجزيئات |
≤60A/WEFR (SIZE 30.3μM) |
نا |
|
الخدوش |
≤5ea/مم. الطول التراكمي ≤Diameter |
الطول التراكمي ≤2*القطر |
نا |
قشر البرتقال/الحفر/البقع/الدماغ/الشقوق/التلوث |
لا أحد |
نا |
|
رقائق الحافة/المسافات البادئة/الكسر/الألواح السداسية |
لا أحد |
||
المناطق polytype |
لا أحد |
منطقة تراكمية 20% |
التراكمية منطقة ≤30% |
وضع علامة ليزر الأمامية |
لا أحد |
||
جودة الظهر |
|||
الانتهاء من الظهر |
C-Face CMP |
||
الخدوش |
≤5EA/MM ، الطول التراكمي ≤2*القطر |
نا |
|
عيوب الظهر (رقائق الحافة/المسافات البادئة) |
لا أحد |
||
خشونة الظهر |
Ra≤0.2nm (5μm*5μm) |
||
عودة ليزر العلامات |
1 مم (من الحافة العليا) |
||
حافة |
|||
حافة |
شامفر |
||
التغليف |
|||
التغليف |
جاهز لـ EPI مع تغليف فراغ عبوات الكاسيت متعددة الفرس |
||
*الملاحظات : "NA" تعني عدم وجود عناصر طلب لم يتم ذكرها قد تشير إلى Semi. |